Vnútorná vodiaca trubica

Vnútorná vodiaca trubica Semicorex je precízne skonštruovanáuhlík/uhlík (C/C) zložkanavrhnuté pre pokročilé aplikácie vysokoteplotného tepelného poľa, najmä pri raste vysoko čistých kremíkových kryštálov. Ako kritický prvok v peciach na rast kryštálov hrá táto zložka ústrednú úlohu pri tvarovaní a stabilizácii tepelného gradientu, pričom zabezpečuje optimálnu tvorbu kryštálov a konzistentnú kvalitu materiálu.

Vnútorná vodiaca trubica, vyrobená z uhlíkového kompozitu s vysokou hustotou vystuženého uhlíkovými vláknami, ponúka výnimočnú štrukturálnu integritu a tepelnú stabilitu v extrémnych podmienkach. S hustotou ≥1,35 g/cm³ a ​​pevnosťou v ohybe ≥110 MPa si zachováva mechanickú odolnosť aj pri dlhodobom vystavení zvýšeným teplotám. Tieto vlastnosti sú nevyhnutné pri výrobe polovodičového kremíka, kde aj malé výkyvy tepelných podmienok môžu významne ovplyvniť rovnomernosť kryštálov a mieru defektov.

Základná funkcia: Presné ovládanie gradientu

Hlavnou úlohou vnútornej vodiacej trubice C/C je vytvoriť presné teplotné pole gradientu. Počas procesu rastu kryštálov kremíka je umiestnený priamo nad taveninou, aby:

Priamy tok plynu: Usmerňuje tok inertného argónového plynu, čím zaisťuje, že pary oxidu kremičitého (SiO) sú účinne odvádzané z povrchu taveniny, čím sa bráni kontaminácii kryštálu kyslíkom.

Tepelné tienenie: Chráni rastúci kryštál pred priamym tepelným žiarením zo stien téglika, čím vytvára strmý axiálny teplotný gradient potrebný pre vysokorýchlostné a vysokokvalitné ťahanie kryštálu.

Energetická účinnosť: Sústredením tepla v zóne taveniny a izoláciou horných komponentov pece výrazne znižuje celkovú spotrebu energie.

Technické špecifikácie a dokonalosť materiálov

Naše vnútorné vodiace rúrky sa vyrábajú s použitím vysokej hustotyKompozity uhlík/uhlík, ktoré poskytujú vynikajúcu alternatívu k tradičnému grafitu. Vlastnosti materiálu sú optimalizované pre extrémne podmienky polovodičových vákuových pecí:

Hustota: ≥ 1,35 g/cm³

Pevnosť v ohybe: ≥ 110 MPa

Koeficient tepelnej rozťažnosti (CTE): ≤ 1,0 × 10⁻⁶ /K

Tepelná vodivosť (izbová teplota): ≤ 10 W/(m·K)

priemysel

Ako sa priemysel posúva smerom k väčším veľkostiam plátkov (300 mm a 450 mm), požiadavky na tepelné pole sa exponenciálne zvyšujú. Naše vnútorné vodiace rúry sú kompatibilné s hlavnými značkami CZ pecí a možno ich prispôsobiť z hľadiska geometrie a povlaku.