Keramické ohrievače

V procese front-end (FEOL) výroby polovodičovdoštičkaMusí sa podrobiť rôznym procesným ošetrením, najmä oblátky sa musí zahriať na určitú teplotu a existujú prísne požiadavky, pretože jednotnosť teploty má veľmi dôležitý vplyv na výťažok produktu; Zároveň musí polovodičové vybavenie pracovať v prítomnosti vákua, plazmy a chemických plynov, ktoré vyžadujú použitie keramických ohrievačov.Keramické ohrievačesú dôležitými komponentmi zariadenia na ukladanie tenkého filmu polovodiča. Používajú sa v procesnej komore a priamo kontaktujú oblátku, aby prepravili a umožnili oblátku získať stabilnú a rovnomernú procesnú teplotu a reagovať s vysokou presnosťou na povrchu oblátky, aby sa vytvorili tenké filmy.

Pretože zariadenia na ukladanie tenkého filmu používané keramickými ohrievačmi zahŕňajú vysoké teploty, všeobecne sa používajú keramické materiály hlavne založené na nitridu hliníka (ALN). Pretože nitrid hliníka má elektrickú izoláciu a vynikajúcu tepelnú vodivosť; Okrem toho je jeho koeficient tepelnej expanzie blízko k kremíku a má vynikajúci plazmový odpor, je veľmi vhodný na použitie ako komponent polovodičových zariadení.

Elektrostatické skľučovanie (ESC) sa používajú hlavne v leptaní zariadení, najmä v oxidu hlinitého (AL2O3). Pretože samotný elektrostatický Chuck obsahuje aj ohrievač, ktorý ako príklad berie suché leptanie, je potrebné kontrolovať oblátku pri špecifickej teplote v rozsahu -70 ℃ ~ 100 ℃, aby sa udržala určitá charakteristika leptania. Z tohto dôvodu musí byť oblátka zahrievaná alebo rozptyľovaná elektrostatickým skľučením, aby sa presná regulovala teplota oblátky. Okrem toho, aby sa zabezpečila rovnomernosť povrchu oblátky, elektrostatický skľučovadlo často potrebuje zvýšiť zónu regulácie teploty, aby sa osobitne regulovala teplota každej teplotnej regulačnej zóny, aby sa zlepšil výťažok procesu. S rozvojom technológie sa samozrejme rozlišuje rozlišovanie medzi tradičnými keramickými ohrievačmi a elektrostatickými skľučovkami. Niektoré keramické ohrievače majú duálne funkcie vysokoteplotného zahrievania a elektrostatickej adsorpcie.

Keramický ohrievač obsahuje keramický základ, ktorý nesie oblátky a valcové podporné telo, ktoré ho podporuje na chrbte. Vo vnútri alebo na povrchu keramickej základne, okrem odporového prvku (vykurovacia vrstva) na zahrievanie, existuje aj rádifrekvenčná elektróda (vysokofrekvenčná vrstva). Aby sa dosiahlo rýchle zahrievanie a chladenie, hrúbka keramickej bázy by mala byť tenká, ale príliš tenká by mala tiež znížiť tuhosť. Podporné telo ohrievača sa všeobecne vyrába z materiálu s koeficientom tepelnej expanzie podobného ako v rámci základne, takže podporné telo je často tiež vyrobené z hliníkového nitridu. Ohrievač prijíma jedinečnú štruktúru hriadeľa (hriadeľa) kĺbu na dne, ktorá môže chrániť terminály a drôty pred účinkami plazmy a korozívnych chemických plynov. V podpornom tele je zabezpečený vstupný vstup a výstupné potrubie tepla, aby sa zabezpečila rovnomerná teplota ohrievača. Základňa a podporné telo sú chemicky viazané s väzbovou vrstvou.

Semicorex ponúka vysokokvalitnúkeramické ohrievače. Ak máte akékoľvek otázky alebo potrebujete ďalšie podrobnosti, neváhajte a kontaktujte nás.

Kontakt Telefón # +86-13567891907

E -mail: sales@semicorex.com