Predstavujeme materiál hlinitého

Alumina keramikaKomponenty majú vynikajúce vlastnosti, ako je vysoká tvrdosť, vysoká mechanická pevnosť, odolnosť proti opotrebeniu, vysoký teplotný odpor, vysoký odpor a dobrý výkon elektrickej izolácie. Môžu spĺňať komplexné výkonnostné požiadavky na výrobu polovodičov v špeciálnych prostrediach, ako je vákuum a vysoká teplota. Hrajú nenahraditeľnú a dôležitú úlohu v výrobných linkách výroby polovodičov. Ich aplikácie sa vzťahujú na takmer všetky výrobné zariadenia polovodičov a sú kľúčovými komponentmi výrobného zariadenia polovodičov. S neustálym rozvojom polovodičového priemyslu sa význam významne výrazne stane významom keramických komponentov hlinitého v priemyselnom reťazci.

Keď sa veľkosť funkcie čipu znižuje, polovodičové vybavenie má prísnejšie požiadavky na komponenty a jeho hustota, rovnomernosť, odolnosť proti korózii atď. Od je potrebné, aby boli vyššie. V posledných rokoch si domáci a zahraniční vedci vyvinuli rôzne nové procesy na zlepšenie podmienok spekania keramických materiálov hlinitého, aby mohli dosiahnuť rýchlu hustotu materiálov pri nižších teplotách sintrovania, ako je samohybné spekanie vysokej teploty, spekanie blesku, studené spekanie a oscilujúce tlakové spekanie. Medzi nimi je studené spekanie pridanie prechodného rozpúšťadla do prášku a aplikovanie veľkého tlaku (350 ~ 500 MPa) na zvýšenie prestavby a difúzie medzi časticami, takže keramický prášok sa môže spekať a hustotovať pri nižšej teplote (120 ~ 300 ℃) a kratší čas.

V súčasnosti sa proces výroby globálnych integrovaných obvodov vyvinul na pokročilejší proces na úrovni 3 nanometrov. Komponenty pre presnosť polovodičových zariadení a polovodičové zariadenia musia byť neustále vyvíjané a vylepšené a musia sa vykonať vylepšenia procesov, aby sa uspokojilo výrobné potreby po prúde. Po aktualizácii polovodičového zariadenia sa špecifické požiadavky nového vybavenia pre komponenty zmenia synchrónne. Vďaka vývoju technológie polovodičov sa výkonnostné požiadavky na keramické komponenty hlinitého zvyšujú a vyššie, vrátane vyššieho odporu opotrebenia, vysokej teploty odporu a lepšej elektrickej izolácie. Trendy v priemysle majú tendenciu rozvíjať vyššiu čistotu, jemnejšie práškové materiály z hlinitého a prijímať pokročilé technológie prípravy.

Alumina keramikamajú veľmi vysoké požiadavky na čistotu, keď sa používajú v polovodičovom poli, zvyčajne viac ako 99,5%. V polovodičovom poli sú keramické časti hlinitého jednou z kľúčových častí polovodičového zariadenia. Väčšina z nich sa používa v komorách bližšie k oblátke. V polovodičových zariadeniach sú klasifikované pomocou a sú rozdelené hlavne na prstencové valce, vodiace vodiče prúdu, pevné nosenie, ručne zovreté tesnenia, moduly atď.

V procese leptania sa s cieľom znížiť kontamináciu oblátky počas leptania plazmy, vysokokvalitné hliníkové povlaky alebo hlinitého keramiky so silným odporom korózie sa vyberú ako ochranné materiály pre leptajúcu komoru a komoru.

V procese čistenia plazmy sa používajú korozívne plyny obsahujúce vysoko reaktívne halogénové prvky, ako je fluór a chlór. Plynovacia dýza je zvyčajne vyrobená z hlinitého keramiky, od ktorej sa vyžaduje, aby mali vysokú odolnosť v plazme, dielektrickú pevnosť a silnú odolnosť proti korózii voči spracovaniu plynov a vedľajších produktov. Zároveň sa na presnú kontrolu prietoku plynu používa vnútorná štruktúra presnosti otvoru.

V procese výroby polovodičov môže oblátka podstúpiť ošetrenie vysokej teploty, ako je leptanie, implantácia iónov atď. Ako nosič prenosu doštičiek môže nosič hlinitého doštičky zabezpečiť stabilitu a bezpečnosť oblátky počas procesu prenosu. Nosič z hlinitého doštičky má dobrú tepelnú vodivosť a môže účinne rozptýliť a exportovať teplo generované doštičkou, čím chráni oblátku pred tepelným poškodením.

Pri manipulácii s doštičkami sa použije keramická robotická rameno vyrobená z hlinitého keramiky. Bude nainštalovaný na robotovi manipulácie s oblátkami, ktorý je rovnocenný s rukou robota. Je zodpovedný za prepravu oblátky na určené miesto a jej povrch je v priamom kontakte s oblátkou. Pretože doštičky sú mimoriadne citlivé na kontamináciu inými časticami, zvyčajne sa vykonávajú vo vákuovom prostredí. V tomto prostredí je robotické zbrane väčšiny materiálov vo všeobecnosti ťažké dokončiť prácu. Materiály používané na výrobu robotických ramien musia byť odolné voči vysokým teplotám, odolné voči opotrebeniu a majú vysokú tvrdosť. Vzhľadom na požiadavky pracovných podmienok sa vo všeobecnosti vyrábajú z extrémne vysokokvalitných keramických materiálov aluminy a je potrebné zaručiť presnosť a drsnosť keramických častí.

Semicorex ponúka vysokokvalitnúAlumina keramické dielyv polovodičoch, vrátane povlakov SIC a TAC povlakov. Ak máte akékoľvek otázky alebo potrebujete ďalšie podrobnosti, neváhajte a kontaktujte nás.

Kontakt Telefón # +86-13567891907

E -mail: sales@semicorex.com