Čo je SOI

Kremík na izolátore (SOI) je uznávaný ako jedno z riešení na nahradenie existujúcich monokryštalických kremíkových materiálov v ére nanotechnológií a je hlavným nástrojom na udržanie trendu Mooreovho zákona. Silicon-on-insulator, technológia substrátu, ktorá nahrádza tradičný objemový substrátový kremík „skonštruovaným“ substrátom, sa používa už viac ako 30 rokov v špecializovaných aplikáciách, ako sú vojenské a vesmírne elektronické systémy, kde má SOI jedinečné výhody vďaka svojej vynikajúcej kvalite. odolnosť voči žiareniu a vysokorýchlostné charakteristiky.

Materiály SOI sú základom rozvoja technológie SOI a vývoj technológie SOI závisí od neustáleho napredovania materiálov SOI. Nedostatok lacných a vysokokvalitných materiálov SOI bol primárnym obmedzením pre vstup technológie SOI do rozsiahlej priemyselnej výroby. V posledných rokoch, s vyspelosťou technológie prípravy materiálu SOI, sa postupne rieši materiálový problém, ktorý obmedzuje rozvoj technológie SOI, čo v konečnom dôsledku zahŕňa dva typy technológie prípravy materiálu SOI, a to implantáciu Speration-by-oxygen (SIMOX). a technológie lepenia. Technológia spájania zahŕňa tradičnú technológiu Bond and Etch back (BESOI) a technológiu Smart-cut spájajúcu vstrekovanie vodíkových iónov a viazanie, ktoré navrhol M. Bruel, jeden zo zakladateľov SOITEC vo Francúzsku, ako aj prípravu materiálu Simbond SOI kombinujúcu izoláciu a väzbu kyslíka navrhol Dr. Meng Chen v roku 2005. Nová technológia kombinuje izoláciu a väzbu kyslíkom.