Poznanie konzolového pádla

Počas spracovania musia byť polovodičové doštičky zvyčajne zahrievané v špecializovanej peci. Takéto pece typicky pozostávajú z dlhých, tenkých, valcových rúrok. Oblátky sú umiestnené v peci a reaktore tak, že sú usporiadané pozdĺž roviny definovanej kruhovým prierezom pece alebo reaktora a sú od seba vzdialené vo vopred určených, zvyčajne rovnako vzdialených bodoch pozdĺž stredovej osi pece alebo reaktora. pec alebo reaktor. Aby sa dosiahlo toto umiestnenie, doštičky sa zvyčajne umiestňujú na štrbinové držiaky, nazývané oblátkové člny, ktoré umiestňujú doštičky v rozmiestnenej konfigurácii zarovnanej pozdĺž stredovej osi.

Malé člny obsahujúce šarže plátkov, ktoré sa majú spracovať, sú umiestnené na dlhých konzolových lopatkách, cez ktoré možno vkladať a vyberať rúrkové pece a reaktory. Takéto lopatky typicky obsahujú plochú nosnú časť, na ktorú možno umiestniť jednu alebo viacero malých člnov, a dlhú rukoväť umiestnenú na jednom konci plochej nosnej sekcie, pomocou ktorej je možné s lopatkami manipulovať. Prechodová časť je zvyčajne vytvorená medzi rukoväťou a nosnou časťou, aby sa vytvorili celok. Rukoväť musí tiež vyčnievať z pece alebo reaktora, aby bolo možné manipulovať s ňou aj s oblátkovým člnom.

Umiestnenie plátkovej lode v peci alebo reaktore je dôležité, pretože je žiaduce umiestniť stred každého plátku čo najbližšie k centrálnej osi pece alebo reaktora, aby sa dosiahli jednotné podmienky spracovania, ktorým sú plátky vystavené. Preto sa pri konštrukcii lopatky musí brať do úvahy ohnutie lopatky spôsobené hmotnosťou lode nesúcej plátky, najmä preto, že lopatka je podopretá len na jednom konci, t. j. na konci, ktorý vyčnieva z komory pece. Okrem zohľadnenia konštrukcie lopatky vyplývajúcej z požiadaviek na prevádzkovú hmotnosť sa musí použiť aj súprava svoriek navrhnutých na presné držanie predĺženého konca lopatky v polohe. Tieto svorky musia byť dosť robustné, aby udržali lopatku v presne požadovanej polohe, pričom sa jednoducho používajú a minimalizujú možnosť poškodenia lopatky počas upínania.

Preto bolo potrebné konzolové pádlo, ktoré by sa dalo použiť s väčšou záťažou a zároveň zostalo kompatibilné s existujúcimi upínacími systémami. Tiež bola potrebná konzolová lopatka, ktorá by vykazovala prijateľné charakteristiky vychýlenia v celom rozsahu hmotnostných zaťažení, s ktorými by mohla byť použitá.

cantipákové pádlo sa odporúča použiť rekryštalizovaný karbid kremíka s tenkou vrstvou CVD SiC, ktorý je vysoko čistý a je najlepšou voľbou pre komponenty pri spracovaní polovodičov.

Semicorex môže poskytnúťvysoká kvalitakonzolové pádlaaprispôsobené služby podľa výkresov a pracovného prostredia.