Čo je to difúzna pec?

Difúzna pec je špecializované zariadenie, ktoré sa používa na riadené zavádzanie nečistôt do polovodičových doštičiek. Tieto nečistoty, nazývané dopanty, menia elektrické vlastnosti polovodičov, čo umožňuje výrobu rôznych typov elektronických súčiastok. Tento proces riadenej difúzie je rozhodujúci pre výrobu tranzistorov, diód a integrovaných obvodov.

Difúzne pece pozostávajú z niekoľkých kľúčových komponentov, vrátane procesných rúr, vykurovacích prvkov, mechanizmov nasávania vzduchu a riadiacich systémov. Procesná trubica funguje ako komora, kde je umiestnený plátok. Odoláva vysokým teplotám a korozívnym plynom, čo z neho robí ideálny materiál pre túto aplikáciu.

Vykurovacie telesá poskytujú potrebné teplo na zvýšenie teploty pece na požadovanú úroveň. Teploty v difúznych peciach sú typicky až 1200 °C. Aby sa zabezpečilo rovnomerné zahrievanie, vykurovacie články sú často usporiadané v špirálovom tvare.

Na zavádzanie dopujúceho plynu do pece sa používa mechanizmus prívodu plynu. Bežné dopanty zahŕňajú bór, fosfor a arzén, v závislosti od požadovaných elektrických vlastností konečného polovodičového produktu. Riadiaci systém reguluje tok dopujúceho plynu a udržuje presnú kontrolu nad procesom difúzie.

Difúzne pece sú široko používané v polovodičovom priemysle. Používajú sa v dopingovom procese, ktorý vytvára pn prechody v tranzistoroch a diódach. Difúzne pece tiež zohrávajú dôležitú úlohu pri výrobe integrovaných obvodov, kde sú na seba naskladané a vzájomne prepojené viaceré vrstvy rôznych polovodičov.

Okrem toho sú difúzne pece nevyhnutné na výrobu pokročilých polovodičových zariadení, ako sú výkonové MOSFET (Metal Oxide Semiconductor Field Effect Transistor) a bipolárne tranzistory s izolovaným hradlom (IGBT). Tieto zariadenia sú v oblasti výkonovej elektroniky a technológie obnoviteľnej energie také kľúčové, že difúzne pece sú neoddeliteľnou súčasťou ich výroby.

Difúzne pece sú kritickými nástrojmi pri výrobe polovodičov, ktoré umožňujú kontrolované zavádzanie dopantov do polovodičových doštičiek. Tieto pece sú neoddeliteľnou súčasťou výroby rôznych polovodičových zariadení ako sú tranzistory, diódy a integrované obvody. S pokrokom technológie sa schopnosti difúznych pecí neustále zvyšujú, čo umožňuje presnejšie a spoľahlivejšie výrobné procesy. Polovodičový priemysel sa vo veľkej miere spolieha na tieto pece, aby uspokojil rastúci dopyt po pokročilých elektronických zariadeniach.

Semicorex vyrába prispôsobené SiC diely pre difúzne pece. Ak máte akékoľvek otázky alebo potrebujete ďalšie podrobnosti, neváhajte nás kontaktovať.

Kontaktné telefónne číslo +86-13567891907

E-mail: sales@semicorex.com