Metódy rastu kryštálov AlN

AlN ako polovodičový materiál tretej generácie je nielen dôležitým materiálom pre modré a ultrafialové svetlo, ale aj dôležitým obalovým, dielektrickým izolačným a izolačným materiálom pre elektronické zariadenia a integrované obvody, zvlášť vhodný pre vysokoteplotné a vysokovýkonné zariadenia. . Okrem toho majú AlN a GaN dobrú tepelnú zhodu a chemickú kompatibilitu, AlN používaný ako epitaxný substrát GaN môže výrazne znížiť hustotu defektov v zariadeniach GaN a zlepšiť výkon zariadenia.

Vďaka atraktívnym aplikačným vyhliadkam sa príprave vysokokvalitných, veľkorozmerných kryštálov AlN dostalo veľkej pozornosti domácich aj zahraničných výskumníkov. V súčasnosti sa kryštály AlN pripravujú metódou roztoku, priamou nitridáciou kovového hliníka, hydridovou epitaxou v plynnej fáze a fyzikálnym transportom v plynnej fáze (PVT). Spomedzi nich sa metóda PVT stala hlavnou technológiou pestovania kryštálov AlN s vysokou rýchlosťou rastu (až 500-1000 μm/h) a vysokou kvalitou kryštálov (hustota dislokácií pod 103 cm-2).

Rast kryštálov AlN metódou PVT sa uskutočňuje sublimáciou, transportom v plynnej fáze a rekryštalizáciou prášku AlN a teplota rastového prostredia je až 2 300 ℃. Základný princíp pestovania kryštálov AlN metódou PVT je pomerne jednoduchý, ako ukazuje nasledujúca rovnica:

2AlN(s) ⥫⥬ 2Al(g) ＋N2(g)

Hlavné kroky procesu rastu sú nasledovné: (1) sublimácia surového prášku AlN; (2) preprava zložiek suroviny v plynnej fáze; (3) adsorpcia zložiek plynnej fázy na rastovom povrchu; (4) povrchová difúzia a nukleácia; a (5) desorpčný proces [10]. Pri štandardnom atmosférickom tlaku sa kryštály AlN začínajú pomaly rozkladať na páry Al a dusík až pri teplote asi 1 700 ℃ a rozkladná reakcia AlN sa rýchlo zintenzívňuje, keď teplota dosiahne 2 200 ℃.

Materiál TaC je skutočný používaný materiál v tégliku na rast kryštálov AlN s vynikajúcimi fyzikálnymi a chemickými vlastnosťami, vynikajúcou tepelnou a elektrickou vodivosťou, odolnosťou proti chemickej korózii a dobrou odolnosťou proti tepelným šokom, čo môže účinne zlepšiť efektivitu výroby a životnosť.

Semicorex ponúka vysokú kvalituTaC náterové produktys prispôsobenou službou. Ak máte akékoľvek otázky alebo potrebujete ďalšie podrobnosti, neváhajte nás kontaktovať.

Kontaktné telefónne číslo +86-13567891907

E-mail: sales@semicorex.com