Rôzne aplikácie kremeňa pri výrobe polovodičov

Na prvý pohľad,kremenný (SiO2) materiálvyzerá veľmi podobne ako sklo, ale zvláštne je, že obyčajné sklo sa skladá z mnohých zložiek (ako je kremenný piesok, bórax, kyselina boritá, baryt, uhličitan bárnatý, vápenec, živec, sóda atď.), zatiaľ čo kremeň obsahuje iba SiO2 a jeho mikroštruktúra je jednoduchá sieť zložená z tetraedrických štruktúrnych jednotiek oxidu kremičitého.

Pretože množstvo kovových nečistôt obsiahnutých vkremeňje veľmi malý a jeho čistota je extrémne vysoká, samotný kremeň má vlastnosti a výhody, ktoré iné sklá nemôžu ukázať, a je známy ako "koruna" sklenených materiálov. Napríklad, čo sa týka odolnosti voči teplu, kremeň nevybuchne, aj keď sa po spálení v ohni ihneď vloží do vody. Konkrétnejšie výhody sú nasledovné:

1. Odolnosť voči vysokej teplote. Teplota mäknutia kremenného skla je asi 1730 ℃ a môže sa používať dlhodobo pri 1150 ℃ a maximálna teplota môže krátkodobo dosiahnuť 1450 ℃.

2. Odolnosť proti korózii. Okrem kyseliny fluorovodíkovej vysoko čistý kremeň takmer nereaguje s inými kyslými látkami. Pri vysokých teplotách môže odolávať korózii spôsobenej kyselinou sírovou, kyselinou dusičnou, kyselinou chlorovodíkovou, aqua regia, neutrálnymi soľami, uhlíkom a sírou. Jeho odolnosť voči kyselinám je 30-krát väčšia ako odolnosť keramiky a 150-krát väčšia ako odolnosť nehrdzavejúcej ocele. Najmä jeho chemická stabilita pri vysokých teplotách je neporovnateľná so žiadnymi inými inžinierskymi materiálmi.

3. Dobrá tepelná stabilita. Vysoko čistý kremeň má veľmi malý koeficient tepelnej rozťažnosti a dokáže odolávať prudkým zmenám teploty. Keď sa kremeň vysokej čistoty zahreje na približne 1100 °C, nevybuchne, keď sa umiestni do vody s izbovou teplotou.

4. Dobrá priepustnosť svetla. Vysoko čistý kremeň má dobrú priepustnosť svetla v celom spektre od ultrafialového po infračervené a priepustnosť viditeľného svetla je nad 93%, najmä v oblasti ultrafialového spektra môže maximálna priepustnosť dosiahnuť viac ako 80%.

5. Dobrý výkon elektrickej izolácie. Hodnota odporu vysoko čistého kremeňa je ekvivalentná 10 000-násobku odporu obyčajného kremenného skla. Je to vynikajúci elektroizolačný materiál a má dobré elektrické vlastnosti aj pri vysokých teplotách.

Vďaka týmto vynikajúcim fyzikálnym a chemickým vlastnostiam sa vysoko čisté kremenné materiály široko používajú v modernej elektronickej technike, polovodičoch, komunikáciách, elektrických svetelných zdrojoch, slnečnej energii, vysoko presných nástrojoch na meranie národnej obrany, laboratórnych fyzikálnych a chemických nástrojoch, jadrovej energii, nanopriemysel atď. Najmä v rýchlo sa rozvíjajúcom polovodičovom priemysle sa rozsah kremíkových doštičiek zvyšuje, takže výrobcovia čipov majú veľký dopyt po rôznych kremenných komponentoch. Treba však tiež poznamenať, že aby sa zabránilo kontaminácii počas procesu spracovania, musí byť počas používania zabezpečená vysoká čistota kremenného materiálu.

V polovodičovom priemysle,kremeňje široko používaný a produkty z kremeňa s vysokou čistotou sú dôležitým spotrebným materiálom pri výrobe plátkov. Kremenné diely, ako sú tégliky, krištáľové člny a rúrky jadra difúznej pece používané na výrobu kremíkových monokryštálov, musia používať výrobky z kremenného skla s vysokou čistotou. Hlavným cieľovým trhovým uplatnením kremenných dielov v oblasti polovodičov je proces difúzie a leptania v zlievarenstve doštičiek. Možno ich rozdeliť do dvoch kategórií: zariadenia so zónou s vysokou teplotou a zariadenia so zónou s nízkou teplotou. Hlavné používané zariadenia sú nasledovné:

1. Zariadenia s vysokoteplotnou zónou sú hlavne pece, sklenené člny atď. používané pri difúznej oxidácii a iných spojoch, ktoré musia byť priamo alebo nepriamo v kontakte s kremíkovými doštičkami vo vysokoteplotnom prostredí; sú to hlavne nakupované materiály z taveného kremenného skla a vyrábané tepelným spracovaním;

2. Zariadenia pre nízkoteplotné zóny zahŕňajú hlavne kremenné krúžky používané v procese leptania, ako aj kvetinové koše a čistiace nádrže používané v procese čistenia. Používajú sa hlavne v prostredí s nízkou teplotou. Nakupujú najmä plynom rafinované kremenné sklo a vyrábajú sa spracovaním za studena.

Semicorex ponúka vysokú kvalitukremenné častina úrovni polovodičov. Ak máte akékoľvek otázky alebo potrebujete ďalšie podrobnosti, neváhajte nás kontaktovať.

Kontaktné telefónne číslo +86-13567891907

E-mail: sales@semicorex.com