Procesy žíhania v modernej výrobe polovodičov

Keďže technologické uzly sa naďalej zmenšujú, vytváranie ultra plytkých spojov predstavuje významné výzvy. Procesy tepelného žíhania vrátaneRýchle tepelné žíhanie (RTA)a žíhanie zábleskovej lampy (FLA) sú životne dôležité techniky, ktoré udržujú vysokú mieru aktivácie nečistôt a zároveň minimalizujú difúziu, čím zaisťujú optimálny výkon zariadenia.

1. Vytvorenie ultra plytkých spojov:

Ako sa technologické uzly zmenšujú, vytváranie ultra plytkých križovatiek je čoraz náročnejšie. Techniky ako rýchle tepelné žíhanie (RTA) a žíhanie zábleskovej lampy (FLA) sú kľúčové pre dosiahnutie vysokej rýchlosti aktivácie nečistôt pri minimalizácii difúzie, čím sa zabezpečí optimálny výkon zariadenia.

2. Modifikácia vysokok hradlových dielektrík:

Post-depozičné žíhanie (PDA) výrazne zlepšuje elektrické vlastnosti dielektrík s vysokým k hradlom. Tento proces znižuje zvodové prúdy hradla a zvyšuje dielektrické konštanty, ktoré sú životne dôležité pre pokročilé logické a pamäťové zariadenia.

3. Tvorba kovových silicídov:

Optimalizácia kovových silicídov, ako sú CoSi a NiSi, je nevyhnutná na zlepšenie kontaktnej a objemovej odolnosti. Presná kontrola podmienok žíhania uľahčuje vytváranie ideálnych zliatinových fáz, čím sa zvyšuje celková účinnosť zariadenia.

4. 3D integračné technológie:

V technológiách ako 3D NAND a 3D DRAM musia byť procesy žíhania aplikované vo viacerých vrstvách. Rýchle tepelné techniky zohrávajú kľúčovú úlohu pri zabezpečovaní optimálneho výkonu každej vrstvy.

Žíhanie je rozhodujúce pri výrobe polovodičov, čo umožňuje opravu poškodenia mriežky, aktiváciu nečistôt, modifikáciu filmu a tvorbu silicidu kovov prostredníctvom presnej kontroly teploty, času a tepelných rozpočtov. Ako sa technologické uzly zmenšujú, pokročilé metódy žíhania akoRTA, FLA a laserové žíhanie sa stali hlavným prúdom. Pri pohľade do budúcnosti bude proces žíhania pokračovať v inováciách, aby vyhovoval požiadavkám vznikajúcich materiálov a zariadení.

Semicorex ponúka špičku v odvetvížíhacie roztokyzabezpečuje, že vaše polovodičové zariadenia spĺňajú najvyššie štandardy výkonu s presnosťou a spoľahlivosťou.

Ak máte akékoľvek otázky alebo potrebujete ďalšie podrobnosti, neváhajte nás kontaktovať.

Kontaktné telefónne číslo +86-13567891907

E-mail: sales@semicorex.com