Štrukturálne rozdiely medzi rôznymi typmi reaktorov

Na základe konfigurácie reakčnej komory je zariadenie na tepelné spracovanie (zariadenie pece) rozdelené hlavne do troch kategórií: vertikálne pece, horizontálne pece a pece na rýchle tepelné spracovanie (RTP).

Vertikálne rúry pece majú vertikálne usporiadané kremenné rúry, pričom plátky sú umiestnené okolo rúrok na ohrev. Ich hlavnými výhodami sú rovnomerné rozloženie teploty, presná regulácia atmosféry, vysoká automatizácia, menšia kontaminácia časticami, malá pôdorysná plocha a podpora pre dávkové spracovanie (vhodné najmä pre 12-palcové doštičky), vďaka čomu sú v súčasnosti dostupné bežné zariadenia. Veľkosť globálneho trhu dosiahla v roku 2024 3,2 miliardy USD (údaje SEMI). Medzi ich nevýhody patrí ľahké oddeľovanie plynu a kvapaliny a prúdenie média smerom nadol, čo môže spôsobiť vyhorenie rúry pece.

Horizontálne rúry pece majú horizontálne umiestnené kremenné rúry, ktoré spracúvajú 100 až 200 plátkov naraz. Medzi ich výhody patrí rovnomerné prúdenie plynu a kvapaliny v rúre pece a presnejšia regulácia teploty. Medzi ich nevýhody patrí väčšia pôdorysná plocha a vyššia spotreba medzirúrkových podpier z vysokolegovanej ocele. Štrukturálne, horizontálne rúry pece umiestňujú plátky vertikálne do horizontálnych rúr na spracovanie.

Pece na rýchle tepelné žíhanie (RTP) používajú halogénové infračervené lampy na rýchle ohrievanie jednotlivých plátkov, pričom ponúkajú rýchle rýchlosti ohrevu a chladenia, ktoré menia iba teplotu plátku bez zmeny teploty v komore. Sú vhodné pre malosériové rýchle žíhanie, ale nie pre sériovú výrobu.

Pri spracovaní plátkov horizontálne rúry pece umiestňujú plátok na kremennú loď, ktorá zase spočíva na nosnom ráme z karbidu kremíka (SiC). Nosný rám sa potom zasunie do rúry kremennej pece, kde plátok podstúpi reakciu v zóne konštantnej teploty. Vertikálne rúry pece, na druhej strane, položia oblátku na kremennú vežu a pomaly ju zdvihnú do rúry kremennej pece na spracovanie. Po reakcii sa plátok pomaly spustí, aby sa zabránilo ohnutiu alebo zlomeniu.

Semicorex dodáva vysoko kvalitné prispôsobenékremenný pecný reaktor. Naše produkty sú navrhnuté tak, aby poskytovali vynikajúcu tepelnú stabilitu, predĺženú životnosť a výnimočnú konzistenciu procesu. Pre prispôsobené riešenia alebo dodatočné technické informácie neváhajte kontaktovať náš technický tím.

Telefón: +86-13567891907

E-mail: sales@semicorex.com