PBN Ceramic Disc od spoločnosti Semicorex sa syntetizuje zložitým procesom chemického nanášania pár (CVD) s využitím chloridu boritého (BCl3) a amoniaku (NH3) pri zvýšených teplotách a nízkych tlakoch. Výsledkom tejto metódy syntézy je materiál výnimočnej čistoty a štrukturálnej integrity, vďaka čomu je nevyhnutný pre rôzne aplikácie v polovodičovom priemysle.**
Jednou z najvýznamnejších výhod keramického disku PBN je jeho pozoruhodne vysoká čistota. Čistota plynných materiálov používaných v procese syntézy (BCl3 + NH3 -> BN + HCl) ďaleko prevyšuje čistotu konvenčných práškov nitridu bóru. V dôsledku toho keramický disk PBN dosahuje úroveň čistoty 99,99 %, pričom celkové nečistoty predstavujú menej ako 100 častíc na milión (ppm). Táto výnimočná čistota je rozhodujúca pri výrobe polovodičov, kde aj najmenšia kontaminácia môže viesť k poruchám elektronických komponentov. Zabezpečením takejto vysokej čistoty PBN Ceramic Disc minimalizuje riziko kontaminácie, čím zvyšuje spoľahlivosť a výkon polovodičových zariadení.
Proces CVD použitý pri výrobe keramického disku PBN mu dodáva takmer dokonalú vrstvenú štruktúru. Táto jedinečná štruktúra uľahčuje anizotropnú tepelnú vodivosť, čo je vlastnosť, ktorá je veľmi výhodná pre komponenty používané v peciach a vákuových systémoch. Anizotropná tepelná vodivosť umožňuje keramickému kotúču PBN efektívne riadiť distribúciu tepla a zabezpečiť rovnomernú reguláciu teploty na celom povrchu kotúča. Táto schopnosť je nevyhnutná v procesoch výroby polovodičov, ktoré vyžadujú presné tepelné riadenie, aby sa zabránilo teplotným gradientom, ktoré by mohli viesť k poruchám alebo neefektívnosti komponentov.
Čo sa týka tepelnej odolnosti, PBN Ceramic Disc vyniká ako príkladný materiál. Odoláva teplotám až do 1800 °C vo vákuovom prostredí a 2000 °C v dusíku bez toho, aby vykazoval bod topenia. Táto mimoriadna tepelná stabilita z neho robí ideálnu voľbu pre komponenty pecí a taviace nádoby, kde sú extrémne teploty bežnou súčasťou prevádzky. Schopnosť zachovať štrukturálnu integritu pri takýchto vysokých teplotách zaisťuje dlhú životnosť a spoľahlivosť, čím sa znižuje potreba častých výmen a tým sa znižujú celkové prevádzkové náklady.
Chemická inertnosť je ďalším znakom keramického disku PBN. Je odolný voči reakciám so širokým spektrom látok, vrátane kyselín, zásad, organických rozpúšťadiel, roztavených kovov a grafitu. Táto inertnosť je obzvlášť výhodná pri výrobe polovodičov, kde je bežné vystavenie reaktívnym látkam. Tým, že PBN keramický disk zostáva nereaktívny, zabraňuje nežiaducim chemickým interakciám, ktoré by mohli ohroziť integritu a funkčnosť polovodičových komponentov.
Aplikácie PBN Ceramic Disc v polovodičovom priemysle sú rôznorodé a pôsobivé. Jeho vlastnosti z neho robia ideálny materiál na použitie v rôznych prostrediach s vysokou teplotou a vysokou čistotou. Napríklad v procesoch epitaxného rastu slúži disk ako kľúčový komponent v depozičných systémoch, kde jeho čistota a tepelná vodivosť zaisťujú výrobu vysokokvalitných polovodičových vrstiev. Okrem toho pri výrobe LED diód a iných optoelektronických zariadení poskytuje PBN Ceramic Disc stabilnú a spoľahlivú platformu, ktorá podporuje zložité procesy potrebné na dosiahnutie optimálneho výkonu zariadenia.
Okrem toho sa úloha PBN Ceramic Disc rozširuje na výrobu výkonových elektronických zariadení. Tieto zariadenia často pracujú pri vysokých teplotách a vyžadujú materiály, ktoré si za takýchto podmienok udržia výkon. Vynikajúce tepelné a chemické vlastnosti PBN Ceramic Disc z neho robia vhodnú voľbu pre substráty a iné komponenty v systémoch výkonovej elektroniky, čo prispieva k účinnosti a odolnosti týchto zariadení.
Štruktúry nitridu bóru