Kompozitné ohrievače PBN

Kompozitné ohrievače Semicorex PBN sa spájajú s vynikajúcou tepelnou vodivosťou pyrolytického grafitu s chemickou inertnosťou a elektrickou izoláciou pyrolytického bóru nitridu. Tieto ohrievače sú vyrobené z veľmi vysokej čistoty grafitu a PBN, ktorý sa aplikuje pomocou vysoko kvalitného procesu CVD (chemické depozície pary) za podmienok ukladania vysokej čistoty. Každá jednotlivá vrstva úspechu bola uložená s veľmi extrémnou ovládateľnosťou, aby sa zabezpečila ultra vysoká čistota a konzistentné tepelné vlastnosti. Grafitové jadro, ktoré poskytuje rýchle a rovnomerné zahrievanie v celom texte, je chránené pred oxidáciou a kontamináciou kapsulom PBN; Vďaka tomu je ohrievač ideálnym pre prostredie vákuového plynu a inertné prostredie plynu. Tieto ohrievače PBN sú zámerne navrhnuté na použitie v reaktoroch MBE (Epitaxy Epitaxy Lieck), CVD reaktoroch a ďalších kryštálových rastových systémoch.

Kompozitný ohrievač pyrolytického bóru nitrid-pyrolytického grafitu (PBN-PG) je ohrievač, ktorý používa vysoko izolačnú PBN ako substrát a používa nízkotlakovú tepelnú depozíciu tepelného rozkladu chemickej pary (CVD) pri nízkom tlaku (pod 10TROR) a vysoká teplota na povlak vodivého PG. Hlavnými zložkami tohto kompozitného ohrievača sú pyrolytický bór nitrid (PBN) a pyrolytický grafit (PG). Vďaka vynikajúcemu odolnosti proti korózii a vysokej teplotnej odolnosti sa používa hlavne na zahrievanie polovodičového substrátu (používa sa v MBE, MOCVD, rozprašovací povlak atď.); zahrievanie supravodiča substrátu; Vzorové zahrievanie počas analýzy vzorky; zahrievanie vzorky elektrónového mikroskopu; kovové zahrievanie; Zdroj vykurovania kovov atď.

Ohrievače PBN vydržia prevádzkové teploty až do 1600 ° C vo vákuu a majú zlepšenú schopnosť odolať tepelnému šoku pred akýmikoľvek kovovými alternatívami, na ktoré by ste sa spoliehali. Povrch ohrievača je extrémne hladký a hustý a počas prevádzky vytvára výrazne menej častíc, čo je rozhodujúce pre aplikácie, kde kontamináciu nemožno tolerovať, ako je napríklad spracovanie polovodičových doštičiek.

Kompozitná štruktúra poskytuje vynikajúcu tepelnú uniformitu naprieč povrchom ohrievača a jej odporové dráhy je možné prispôsobiť tak, aby umožnili distribúciu na mieru. Táto konštrukcia umožňuje rýchle cykly ramp-up a cooldown počas spracovania bez praskania a delaminácie v dôsledku rovnakých koeficientov tepelnej expanzie použitých materiálov. Elektródy sú schopné odolať kontinuálnej prevádzke s vysokým prúdom a sú tiež kompatibilné vo vákuu.

Semicorex poskytuje neobmedzenú flexibilitu dizajnu pre jedinečné tvary, veľkosti a požiadavky na energiu, aby sa uspokojilo konkrétne potreby aplikácií; Či už ide o štandardné veľkosti oblátkov alebo zložitejšie geometrie, zaručujeme rozmerovú presnosť a tepelnú uniformitu v každej vyrobenej jednotke.

Kompozitné ohrievače PBN sú ideálne pre ultra čisté aplikácie vrátane:

• Systémy MBE pre III-V a II-VI Zlúčeninu spracovania polovodičov
• Vákuové poťahovacie systémy pre optické komponenty
• Systémy rastu kryštálov pre Sapphire a SIC
• Tepelné spracovanie vysoko čistoty pre výskumné a vývojové laboratórne prostredia.