Elektrostatické skľučovadlo PBN

Vlastnosti materiáluPBNElektrostatické skľučovadlo

Odolnosť voči vysokej teplote a dielektrická pevnosť

ThePBNElektrostatické skľučovadlo je známe svojou výnimočnou odolnosťou voči vysokým teplotám, čo je vlastnosť, ktorá je kľúčová v procese výroby polovodičov. Pyrolytický nitrid bóru (PBN), materiál použitý pri konštrukcii skľučovadla, vykazuje vyšší odpor ako väčšina bežne používanej keramiky, čo je kľúčové pre udržanie sily skľučovadla Johnsen-Rahbek (J-R) až do teplôt 1050°C. Tento vysoký odpor v spojení s jeho vysokou dielektrickou pevnosťou zaisťuje, že je účinne zabránené elektrickému zrúteniu aj pri intenzívnom teple, čím sa zvyšuje prevádzková spoľahlivosť skľučovadla.

Tepelná rovnomernosť a odolnosť proti otrasom

Šesťhranná mriežková štruktúra PBN, pripravená chemickým naparovaním pri teplotách presahujúcich 1500 °C, prispieva k jeho vynikajúcej tepelnej rovnomernosti a odolnosti voči nárazom. Vyhrievacie prvky s vysokou hustotou vo vnútriPBNElektrostatické skľučovadlo umožňuje dosiahnuť konzistentný tepelný profil plátku s dobrou rovnomernosťou 1,1–1,5 % pri teplotách 600–800 °C. Okrem toho skľučovadlo na báze PBN vykazuje pozoruhodnú odolnosť voči tepelným šokom a nižšiu tepelnú hmotnosť, čo mu umožňuje dosiahnuť 600 °C pri rýchlej rýchlosti 23 °C/s bez rizika prasknutia alebo delaminácie.

Prispôsobiteľné viaczónové vykurovanie

Elektrostatické skľučovadlo PBN je vysoko prispôsobiteľné a má viaczónové možnosti ohrevu, ktoré umožňujú maximálnu reguláciu teploty. Táto úroveň prispôsobenia zaisťuje, že každé skľučovadlo môže byť prispôsobené špecifickým požiadavkám jednotlivých zákazníkov a poskytuje flexibilné riešenie pre rôzne aplikácie spracovania polovodičov.

Aplikácie zPBNElektrostatické skľučovadlo

Iónová implantácia a manipulácia s plátkami

Elektrostatické skľučovadlo PBN je preferovaným zariadením na manipuláciu s plátkami v procesoch implantácie iónov. Jeho schopnosť udržať doštičky pri teplotách presahujúcich 1000 °C z neho robí jedno z najuniverzálnejších elektrostatických skľučovadiel na trhu. Táto všestrannosť je ďalej posilnená jeho schopnosťou udržiavať doštičky vo veľmi úzkych teplotných rozsahoch vďaka viaczónovým vykurovacím prvkom s vysokou hustotou.

Implantácia iónov karbidu kremíka

Pri špecifickej aplikácii SiC iónovej implantácie jePBNElektrostatické skľučovadlo ponúka životaschopné riešenie problémov ohrevu plátkov a manipulácie s nimi. Jeho dvojfunkčné schopnosti, medzi ktoré patrí vysoká sila skľučovadla, vysoký vykurovací výkon, dobrá tepelná rovnomernosť a rýchla odozva, z neho robia ideálnu voľbu na riešenie zložitých požiadaviek implantácie iónov SiC.

Výroba polovodičov

Elektrostatické skľučovadlo PBN hrá rozhodujúcu úlohu pri výrobe polovodičov, kde je nevyhnutná presná manipulácia s plátkami a kontrola teploty. Vďaka vysokej odolnosti voči teplotným šokom a rýchlemu zvyšovaniu teploty je vhodný pre pokročilé polovodičové procesy, ktoré vyžadujú prísne riadenie teploty a rýchle tepelné cykly.