Ohrievač PBN

Ohrievač PBN PBN v Semicorexe pyrolytický bór je vysokokvalitný, vysoko výkonný vykurovací komponent určený pre náročné aplikácie, v ktorých sú nevyhnutné ultra čistiace, chemicky stabilné a tepelne efektívne materiály. PBN vyrobený prostredníctvom procesu ukladania chemickej pary (CVD) vykazuje výnimočnú tepelnú vodivosť, vysokú teplotu odolnosti a vynikajúcu chemickú inertnosť, vďaka čomu je ideálnou voľbou pre polovodičové spracovanie, rast kryštálov a vakuové aplikácie.

Ohrievač PBN je ohrievač, ktorý používa vysoko izolačnú PBN ako substrát a používa nízkotlakové tepelné rozkladanie chemického ukladania pary (CVD) na pokrytie vodivého PG pri nízkom tlaku (pod 10TROR) a vysokej teploty. Hlavnými zložkami tohto kompozitného ohrievača sú pyrolytický bór nitrid (PBN) a pyrolytický grafit (PG). Vďaka vynikajúcemu odolnosti proti korózii a vysokej teplotnej odolnosti sa používa hlavne na zahrievanie polovodičového substrátu (používa sa v MBE, MOCVD, rozprašovací povlak atď.); zahrievanie supravodiča substrátu; Vzorové zahrievanie počas analýzy vzorky; zahrievanie vzorky elektrónového mikroskopu; kovové zahrievanie; Zdroj vykurovania kovov atď.

PBN je inertný na korozívne plyny; má vysokú čistotu (vyššiu ako 99,99%); nereaguje ani nereaguje s väčšinou roztavených kovov (má vlastnosti nelepivej panvice a kov je možné použiť 100%); má dobrý odpor s vysokou teplotou (maximálna prevádzková teplota je 2000 ℃); dobrá hustota; Dobrý odolnosť proti tepelnému nárazu a ďalšie vynikajúce vlastnosti z neho robia ideálny materiál na prípravu kompozitných ohrievačov PBN-PG. PG sa môže rýchlo zahrievať na 1600 ℃ (v inertnej atmosfére a vo vákuu) vo ohrievači PBN. Zároveň v kombinácii s dobrou tepelnou vodivosťou PBN má vykurovacia plocha dobrú uniformitu tepla. Pri rýchlom rozvoji súvisiacich odvetví sa tiež rýchlo zvýšil dopyt po kompozitných ohrievačoch PBN-PG.

Ohrievače PBN môžu byť vyrobené v rôznych tvaroch a konfiguráciách, aby sa splnili špecifické požiadavky na návrh a integráciu. Typické vzory zahŕňajú rovinné ohrievače, rúrkové ohrievače a vlastné geometrie so zabudovanými alebo povrchovo namontovanými vykurovacími prvkami. Vykurovacie prvky sú zvyčajne vyrobené z pyrolytického grafitu (PG) a zapuzdrené do PBN, čo poskytuje úplne utesnenú, elektricky izolačnú a tepelne účinnú štruktúru.