PECVD solárny grafitový čln

SemicorexPECVD solárne grafitové člnysú precízne vyrobené z vysokej čistotyizostatický grafit. Každý solárny grafitový čln PECVD od spoločnosti Semicorex prechádza presným opracovaním, rozmerovou kontrolou a testovaním elektrického výkonu, aby sa zabezpečil stabilný výkon vo vysokoteplotnom plazmovom prostredí.

Počas spracovania PECVD prenáša solárny grafitový čln PECVD kremíkové doštičky do reakčnej komory PECVD a slúži ako elektróda pripojená k vysokofrekvenčnému napájaniu. Keď sa medzi susednými člnovými doskami aplikuje striedavé napätie, vytvorí sa elektrické pole. Vplyvom elektrického poľa podliehajú reaktívne plyny (ako je silán SiH4 a amoniak NH3) žeravý výboj a vytvárajú plazmu. Ióny a voľné radikály v plazme rozkladajú prekurzorové plyny a vytvárajú ióny kremíka (Si) a dusíka (N). Tieto ióny sa spájajú a vytvárajú molekuly nitridu kremíka (Si3N4), ktoré sa potom ukladajú na povrch kremíkového plátku a vytvárajú tenké filmy.

1. Výnimočná tepelná stabilita

S koeficientom tepelnej rozťažnosti, ktorý je blízky koeficientu kremíkových doštičiek, SemicorxPECVD solárny grafitový člnpri zahrievaní dochádza k zanedbateľnej rozmerovej zmene, čo spoľahlivo zabraňuje poškodeniu plátkov tepelným stresom.

2. Vynikajúca elektrická a tepelná vodivosť

Solárne grafitové člny Semicorex PECVD majú vynikajúcu elektrickú vodivosť, zaisťujú rýchle vedenie RF prúdu a rovnomernú distribúciu elektrického poľa, čo je výhodné pre stabilnú tvorbu plazmy a rovnomerné ukladanie kremíkových plátkov. Jeho vynikajúca tepelná vodivosť navyše uľahčuje rýchle chladenie a zahrievanie, čím zlepšuje efektivitu výroby a zároveň zabraňuje lokálnemu prehriatiu, ktoré by ovplyvnilo kvalitu depozície.

3. Silná chemická stabilita

Vďaka použitiu prvotriedneho materiálu je solárny grafitový čln Semicorex PECVD menej náchylný na reakciu s reaktívnymi plynmi a plazmou. Táto charakteristika výrazne zabraňuje nerovnomernému rozloženiu elektrického poľa spôsobenému koróziou, deformáciou alebo usadzovaním nečistôt v grafitovom člne, čím zabezpečuje stabilitu procesu nanášania a kvalitu povrchu kremíkových doštičiek.

4. Vynikajúca mechanická pevnosť

So svojou vynikajúcou mechanickou pevnosťou dokáže solárny grafitový čln Semicorex PECVD jednoducho zvládnuť hmotnosť veľkoobjemových plátkov. Môžu dlhodobo odolávať mechanickému namáhaniu vznikajúcemu počas nakladania a prepravy bez toho, aby sa ľahko zdeformovali alebo zlomili.

5. Vynikajúca rozmerová konzistencia

Solárny grafitový čln Semicorex PECVD dosahuje výnimočnú rozmerovú presnosť naprieč všetkými komponentmi vďaka presnému obrábaniu. Počas nanášania udržuje kremíkový plátok v pevnej polohe, čo zaisťuje rovnomerné nanášanie a kompatibilitu s automatizovanou výrobou.