Nosiče oblátky PFA

Semicorex PFANosičeSú vysoko výkonnými nosičmi určené na bezpečnú manipuláciu, skladovanie a prepravu polovodičových doštičiek v ultra čistom prostredí. Výroba pokročilých polovodičov zaisťuje, že nosiče doštičiek PFA ponúkajú neprekonateľnú chemickú odolnosť, tepelnú stabilitu a reguláciu častíc z integrity a čistoty doštičiek počas výroby až po konečné testovanie.

Tieto oblátky, ktoré sú vyrobené z nového PFA, vykazujú veľkú odolnosť voči tvrdým chemikáliám, ako sú silné kyseliny, bázy a rozpúšťadlá, ktoré sa zvyčajne používajú pri čistení a leptovných doštičkách. Veľmi nízke iónové vylúhovacie a výpadajúce vlastnosti PFA z neho robia preferovaný materiál pre dôležité úlohy čistej miestnosti, kde aj malé množstvo kontaminantov môže ovplyvniť výnosy zariadenia.

Nosiče doštičiek PFA sa vyrábajú v čistých miestnostiach a pracujú s triedou 1 (trieda ISO 3) čisté normy miestnosti. Hladký, nepriľnavý povrch PFA minimalizuje tvorbu častíc a adhéziu, čím zabraňuje kontaminácii zvyškom alebo častíc. Okrem toho hydrofóbna povaha PFA uľahčuje dôkladné opláchnutie a rýchle sušenie, čím sa počas krokov spracovania mokra ďalej znižuje riziko krížovej kontaminácie.

Každý dopravca doštičiek PFA je presne vyrobený, aby sa zabezpečilo bezpečné a dokonca aj podpora doštičiek počas pohybu a udržiavania. Drážané automaty pomáhajú oblákam s malým kontaktom, znižujú stres a štiepanie okrajov doštičiek. Nosiče sa dodávajú v mnohých tvaroch, aby vyhovovali rôznym veľkostiam doštičiek, ktoré zahŕňajú priemery 100 mm, 150 mm, 200 mm a 300 mm. Voliteľné vrcholy a pevné blokovacie spôsoby poskytujú ďalšiu bezpečnosť proti šoku do tovaru, vibrácie a vystavenia životnému prostrediu.

Vzhľadom na vynikajúcu tepelnú rezistenciu PFA až do 260 ° C je kompatibilná s vysokoteplotnými procesmi, ako je difúzia, oxidácia a chemické ukladanie pary CVD. Nosič si zachováva svoju štrukturálnu integritu pri opakovanom tepelnom cykle, a preto je vhodný pre dávkové aj automatizované spracovateľské prostredie.

Nosiče doštičiek PFA majú široké aplikácie pri čistení oblátkových doštičkách, leptaní mokrých, fotolitografických CMP a ďalších procesoch front-end a back-end vo výrobe IC. Ich robustný dizajn a čistota ich robia ideálnymi na použitie v laboratóriách Fabs, výskumu a vývoji a zariadeniach OEM, ktoré si vyžadujú prísne protokoly na kontrolu kontaminácie.

PrispôsobenýNosiče oblátky PFAMôže byť vyvinutý tak, aby spĺňal špecifické požiadavky na automatizáciu vrátane robotického manipulácie, dráhových systémov a vertikálneho/horizontálneho transportu. Dopravcovia sú plne kompatibilné so štandardným zariadením na manipuláciu s oblátkami a výrobnými nástrojmi polovodičov.