Planetár

Planetárny Suslector Semicorex je nevyhnutnou súčasťou pre reaktory Epitonduktor Epitaxy, špeciálne skonštruovaný pre zariadenie Aixtron G5+. Skonštruované z vysoko čistiaceho grafitu apotiahnutý karbidom kremíka (sic), tento jadro zaručuje vynikajúcu tepelnú stabilitu, výnimočnú chemickú rezistenciu a bezkonkurenčný výkon vo vysokoteplotných prostrediach.

Reaktor Aixtron G5+ Epitaxy je referenčným bodom v odvetví pre GAN, SIC a ďalšie zložené procesy rastu polovodičov. Planetárny spievanie je kľúčový pri optimalizácii prietoku plynu, zabezpečuje presnú rotáciu oblátok, udržiavanie presnej regulácie teploty a dosiahnutie rovnomerného ukladania epitaxiálnych vrstiev. Jeho inovatívny dizajn výrazne zvyšuje opakovateľnosť procesu, vďaka čomu je ideálnou voľbou pre veľkoobjemové výrobné prostredia.

Kľúčové funkcie  

- Pokročilé zloženie materiálu: Vyrobené z vysoko čistiaceho grafitu s povlakom SIC, ktorý poskytuje zvýšenú trvanlivosť a odolnosť voči tvrdým procesným podmienkam.  

- Optimalizovaný tepelný výkon: Zaisťuje rovnomerné rozloženie tepla, kritické pre vysoko presný rast epitaxnej vrstvy.  

- Chemická rezistencia: povlak SIC zabraňuje oxidácii grafitu, predlžuje životnosť spoznávača a udržiava čistotu procesu.  

- Presné inžinierstvo: Navrhnuté tak, aby spĺňali prísne požiadavky systémov Aixtron G5+, čo zaisťuje plynulú integráciu a optimálnu účinnosť reaktora.  

- Vysoká povrchová uniformita: Minimalizuje kontamináciu častíc, podporuje vynikajúcu kvalitu oblátky a vyšší výťažok vo výrobe polovodičov.  

Výhody nášho planetárneho susceptora  

- rozšírená životnosť:Náter SICVýrazne znižuje opotrebenie, čo vedie k nižšej náhradnej frekvencii a zníženým prevádzkovým nákladom.  

- Vylepšená stabilita procesu: Zaisťuje konzistentné zahrievanie a minimálne tepelné gradienty, čo vedie k kvalitnej výrobe oblátok.  

- Kompatibilita a prispôsobenie: Dostupné v štandardných a prispôsobených dizajnoch, ktoré spĺňajú konkrétne požiadavky AIXTRON G5+ Process.  

GrafitČasti hrajú nevyhnutnú a veľmi dôležitú úlohu v polovodičovom procese. Kvalita grafitových materiálov má veľký vplyv na kvalitu hotových výrobkov. Naša konzistentnosť a materiálová homogenita grafitovej šarže je možné kontrolovať a zaručiť prostredníctvom výrobného procesu.

1.

2. Každý kus materiálu je monitorovaný a sledovaný

3. Viacbodové monitorovanie teploty v priestore pece, aby sa zabezpečilo, že teplotný rozdiel sa udržiava vo veľmi malom rozmedzí

4. Viacbodové monitorovanie teploty na materiáli, aby sa zabezpečilo, že teplotný rozdiel sa udržiava vo veľmi malom rozmedzí

Semicorex Planetary Spiceptor je prémiové riešenie pre reaktory Aixtron G5+, ktoré ponúka vynikajúcu tepelnú stabilitu, chemický odpor a presný výkon. Vykonané pre najnáročnejšie výrobné procesy polovodičov, poháňa vyššie výnosy do oblátky, minimalizuje riziko kontaminácie a rozširuje životnosť zariadenia. Inovujte svoj systém Epitaxy pomocou špičkového Sustenctora pre neprekonateľné výsledky.