Porézna keramika z karbidu tantalu Semicorex je vysokovýkonná porézna keramika vyvinutá špeciálne pre proces fyzického transportu pár (PVT). Jeho špeciálna porézna štruktúra a vynikajúce vlastnosti zohrávajú dôležitú úlohu pri uľahčovaní rastu vysokokvalitných kryštálov karbidu kremíka. Výberom Semicorex získate ideálne porézne keramické riešenia s konzistentnou kvalitou a stabilným výkonom pre pokročilú výrobu polovodičov.
Porézna keramika z karbidu tantalu Semicorex je vysokoteplotný keramický materiál s bodom topenia okolo 3880 ℃, ktorý dokáže udržať stabilný výkon v náročných prevádzkových prostrediach s vysokou teplotou a vysokou koróziou vďaka nasledujúcim vynikajúcim výkonnostným charakteristikám.
Maximálna pracovná teplota Semicorex poréznykeramika z karbidu tantalumôže byť až 3200 ℃ a môže stabilne pracovať pri vysokoteplotných podmienkach rastu kryštálov karbidu kremíka po dlhú dobu bez akejkoľvek deformácie alebo zmäkčenia.
Porézna keramika z karbidu tantalu Semicorex vykazuje lepšiu odolnosť proti korózii a odolnosť voči oxidácii ako bežná keramika. Môže účinne odolávať korózii vysokoteplotného kyslíka a Si pár v procese rastu kryštálov.
Porézna keramika z karbidu tantalu Semicorex sa vyznačuje rovnomerne rozmiestnenými vnútornými pórmi, s pórovitosťou medzi 10-60 % (prispôsobiteľné) a mierou priechodnosti pórov nad 98 %. Táto špeciálna štruktúra umožňuje prvkom v plynnej fáze, ako je Si a C, prúdiť a hladko difundovať vo vnútri pece na rast kryštálov, čo výrazne uľahčuje rast vysoko kvalitných kryštálov.
Počas rastu kryštálov karbidu kremíka prostredníctvom procesu PVT funguje pórovitá keramika karbidu tantalu Semicorex predovšetkým pri filtrácii prvkov v parnej fáze, regulácii teplotného gradientu pece a vedení toku plynného materiálu. Na rozdiel od bežných poréznych grafitových materiálov potiahnutých TaC, vykazuje porézna keramika karbidu tantalu Semicorex výrazné výhody: eliminuje poréznosťGrafit potiahnutý TaCnevýhodou materiálov je nízka miera priechodnosti pórov spôsobená ošetrením povlakom, pričom sa zabráni bolestivým bodom odlupovania povlaku poréznych grafitových materiálov potiahnutých TaC pri prevádzke. Použitím poréznej keramiky z karbidu tantalu Semicorex môžete účinne inhibovať defekty inklúzie uhlíka pri raste kryštálov karbidu kremíka, čím výrazne zlepšíte kvalitu rastu kryštálov a výťažok produktu.