Produkty

Semicorex SiC epi-wafer susceptory vyrobené z grafitu potiahnutého SiC sú navrhnuté tak, aby poskytovali výnimočnú tepelnú jednotnosť a chemickú stabilitu v procesoch epitaxného rastu pri vysokých teplotách. Semicorex sa zaviazal dodávať produkty najvyššej kvality a najlepšie služby zákazníkom na celom svete. So silnou technickou odbornosťou a spoľahlivými výrobnými kapacitami pomáhame globálnym partnerom dosiahnuť stabilný výkon a dlhodobú hodnotu.*

Epitaxné susceptory potiahnuté Semicorexom SiC sú základnými komponentmi používanými v procese epitaxného rastu polovodičov na stabilnú podporu a fixáciu polovodičových doštičiek. Využitím vyspelých výrobných kapacít a najmodernejších výrobných technológií sa Semicorex zaviazal dodávať našim váženým zákazníkom epitaxiálne susceptory potiahnuté SiC za konkurencieschopnú kvalitu na trhu.

Grafitové MOCVD susceptory potiahnuté SiC sú základnými komponentmi používanými v zariadeniach na chemické vylučovanie kovov a organických pár (MOCVD), ktoré sú zodpovedné za držanie a zahrievanie plátkových substrátov. Vďaka ich vynikajúcemu tepelnému manažmentu, chemickej odolnosti a rozmerovej stabilite sú grafitové MOCVD susceptory potiahnuté SiC považované za optimálnu možnosť pre vysokokvalitnú epitaxiu plátkového substrátu.

Semicorex CVD TaC Coated Susceptor je prémiové riešenie navrhnuté pre MOCVD epitaxné procesy, ktoré poskytuje vynikajúcu tepelnú stabilitu, čistotu a odolnosť proti korózii v extrémnych procesných podmienkach. Semicorex sa zameriava na precízne vyvinutú technológiu povrchovej úpravy, ktorá zaisťuje konzistentnú kvalitu plátku, predĺženú životnosť komponentov a spoľahlivý výkon v každom výrobnom cykle.*

Semicorex SiC Coating Pancake Susceptor je vysoko výkonný komponent navrhnutý na použitie v systémoch MOCVD, ktorý zaisťuje optimálnu distribúciu tepla a zvýšenú odolnosť počas rastu epitaxnej vrstvy. Vyberte si Semicorex pre jeho precízne skonštruované produkty, ktoré poskytujú vynikajúcu kvalitu, spoľahlivosť a predĺženú životnosť, prispôsobené tak, aby spĺňali jedinečné požiadavky výroby polovodičov.*

Semicorex TaC Coating Wafer Susceptor je grafitová tácka potiahnutá karbidom tantalu, ktorá sa používa pri epitaxnom raste karbidu kremíka na zlepšenie kvality a výkonu plátku. Vyberte si Semicorex pre jeho pokročilú technológiu povrchovej úpravy a odolné riešenia, ktoré zaisťujú vynikajúce výsledky epitaxie SiC a predĺženú životnosť susceptora.*