Nosná doska Semicorex SiC Graphite RTP pre MOCVD ponúka vynikajúcu tepelnú odolnosť a tepelnú rovnomernosť, vďaka čomu je dokonalým riešením pre aplikácie na spracovanie polovodičových doštičiek. S vysoko kvalitným grafitom potiahnutým SiC je tento produkt navrhnutý tak, aby odolal aj tým najtvrdším depozičným podmienkam pre epitaxný rast. Vysoká tepelná vodivosť a vynikajúce vlastnosti distribúcie tepla zaisťujú spoľahlivý výkon pre RTA, RTP alebo drsné chemické čistenie.
Čítaj viacOdoslať dopyt