Semicorex Rigid Graphit Felt je vysoko výkonný tepelný izolačný materiál vyrobený z uhlíkových vlákien na báze panvy a viskózy, ktorý sa bežne používa vo vysokoteplotných priemyselných peciach. Vyberte si SemiCorex pre svoje pokročilé výrobné procesy a preukázať odborné znalosti v oblasti poskytovania trvanlivých a spoľahlivých riešení pre náročné polovodičové aplikácie.*
Pevná grafitská plsť môže byť vytvorená vytvrdzovaním laminácie mäkkých plsť a formovaním mokra. Spoločná laminácia metóda na výrobu tvrdej plsti uhlíkovým vláknami používa mäkkú plsť ako surovinu. Výrobný proces začína rezaním: rezanie viacerých kusov medzery o niečo väčších ako konečná tvrdá plsť z mäkkej plsti. Po rezaní je impregnovaný živicou a inými lepiacimi materiálmi a impregnované medzery sú naskladané vo viacerých vrstvách podľa požadovanej tvrdej hrúbky.
Impregnácia pri výrobe mäkkých plťov je hlavne impregnácia katalyzátormi, aby sa viskózne vlákna stali stabilnejšími pri následnom tepelnom spracovaní; Zatiaľ čo impregnácia tuhého grafitu je hlavne impregnácia s termosetovou živicou. V následnom procese zahrievania a vytvrdzovania sú tekuté živice tuhé a viac vrstiev mäkkej plsti sú pevne kombinované s živicou.
Resin + Graphit Fiber Graphit Mäkké plsť umožňuje materiálu dosiahnuť účinok „1 + 1> 2“ v niektorých vlastnostiach. Po zahrievaní a vytvrdzovaní sa viacvrstvové mäkké plsne impregnované živicou už nemožno zvinúť ako mäkká plsť a zvyšuje sa aj hustota a pevnosť v tlaku materiálu.
Počas rastu PVT jednotlivých kryštálov hrá uhlíková vlákna úlohu pri uchovávaní tepla. Čistota tuhého grafitu je rozhodujúca pre úspešný rast kryštálov SIC. Nečistoty v izolačnom pl byť materiáli sú jedným zo zdrojov kontaminácie nečistôt počas procesu rastu. Obsah kľúčových prvkov nečistoty v plstení z uhlíkových vlákien je kontrolovaný pod 10-6 a celkový obsah popola sa musí prísne kontrolovať. Podľa patentu prijíma rôzne vysokorýchlostné metódy ošetrenia s viacstupňou čistenia, pričom v každom štádiu použije viacnásobné kroky obehu plynu v každom štádiu na premenu nečistôt s vysokým obsahom mulovania na zlúčeniny s nízkym počtom melice a plyny s nečistotami vypúšťania a nakoniec získanie vysokokvalitných uhlíkových vlákien, ktorých obsah popola je menší ako 20 mg · kg a AL, B, F, V sú menšie ako 0,1MG cag cag.
Rigid Graphite Felt má tiež kľúčové technológie pre reguláciu uniformity prietokového poľa, vrátane regulácie uniformity prietoku plynu a prietoku plynu. Teplotné pole je uniformované v jednej kryštálovej peci navrhovaním oblastí kompenzácie teploty, viaczónom nezávislou reguláciou teploty a zmenou tvaru a usporiadania ohrievača.