Kremenné difúzne trubice polovodičovej kvality

Quartzové člnysa zvyčajne používajú vo vysokoteplotných prevádzkových podmienkach tvrdej chemickej korózie. Počas operácie sa polovodičové doštičky umiestnia do kremenného člna a vložia sa do kremennej difúznej trubice. Keď difúzna trubica dosiahne požadovanú teplotu (niekoľko stoviek až niekoľko tisíc stupňov Celzia), procesné plyny (napr. O₂, N2, H2, Ar) a dopujúce plyny (napr. POCl3, BBr3) sa zavádzajú do kremennej difúznej trubice cez plynové porty, aby sa vykonala semiadová oxidácia, difúzia. Okrem toho, aby sa zlepšila rovnomernosť a presnosť difúzie, niektoré difúzne procesy sa musia vykonávať v prostredí s nízkym tlakom. 

V pokročilých procesoch výroby polovodičov môže každá malá chyba alebo nedostatok v týchto procesoch viesť k zlyhaniu nasledujúcich procesov. Preto ako rozhodujúca súčasť výroby polovodičov je kvalita kremenných difúznych trubíc výrazne dôležitá a priamo ovplyvňuje výťažnosť a výkon polovodičových zariadení.

Špecifikácie Semicorexu Polovodičový kremeň

Semicorex polovodičové kremenné difúzne trubice sú starostlivo vyrobené z vysokokvalitnýchkremeň polovodičovej kvalitymateriál. Nasledujú jeho špecifické parametre:

Parametre je možné prispôsobiť podľa požiadaviek zákazníka.

Výkon polovodičových difúznych trubíc Semicorex Semiconductor

Polovodičová trieda Semicorex sa spolieha na našu skúsenú technológiu spracovania a spoľahlivý výber materiálukremenné difúzne trubicepreukázať vynikajúci výkon v náročných prevádzkových podmienkach:

1. Odolnosť voči vysokej teplote

Polovodičové difúzne trubice Semicorex poskytujú pozoruhodnú odolnosť voči vysokým teplotám, čo im umožňuje pracovať stabilne v prostredí s vysokou teplotou až do 1200 ℃ bez akejkoľvek deformácie alebo poškodenia.

2. Výkon tepelnej stability

Polovodičové difúzne trubice Semicorex, ktoré sa môžu pochváliť výnimočným koeficientom tepelnej rozťažnosti, sú schopné odolať tepelnému namáhaniu počas rýchleho zahrievania alebo ochladzovania bez ľahkého praskania alebo deformácie.

3. Chemická odolnosť

Polovodičové difúzne trubice Semicorex poskytujú vynikajúcu chemickú inertnosť vo vysokoteplotnom a drsnom korozívnom prostredí. Tento výkon výrazne zabraňuje tomu, aby kontaminanty vznikajúce pri ich reakcii s procesnými plynmi ovplyvňovali kvalitu plátku.