Polovodičové kremenné krížové predmety

Semicorex Semiconductor Quartz Crucibles sú spotrebné výrobky v polovodičovom priemysle špeciálne pre kremenné krížové predmety používané v procese výroby kremíkových jednorazových kremíkových kryštálov. Vyrábajú sa z ultra-pure fúzovaného kremeňa, ktoré uspokojujú čistotu, homogenitu a tepelný odpor a vyrábajú sa tak, aby vyhovovali vysokým požiadavkám modernej výroby polovodičov. Sú životne dôležité pre špecifikáciu kremíka Ingot, pretože ich atribúty priamo ovplyvňujú výkon a výnos oblátkov v integrovanom spracovaní obvodov.

Z tepelného a fyzického hľadiska: kremenné krížové predmety môžu veľmi dobre vydržať teplo. Bod deformácie je približne 1100 ° C, bod zmäkčenia je približne 1730 ° C a maximálna kontinuálna prevádzková teplota je 1100 ° C, [krátkodobá expozícia do 1450 ° C]. Tieto vlastnosti umožňujú použiteľnosť pri vysokých teplotách pri zabezpečovaní vysokej čistoty a tepelnej odolnosti, a preto podporujú stabilitu počas procesov ťahania kryštálov Czochralski (CZ), kde je potrebné minimalizovať kontamináciu a deformáciu, a presné tepelné profily sú prvoradé na získanie homogénneho rastu kryštálov.

Zo štrukturálneho hľadiska sa polovodičové kremenné krížky pozostávajú z vrstvenej kompozitnej štruktúry navrhnutej pre tepelné vlastnosti a mechanickú pevnosť. Štartovacia (pohybujúca sa dovnútra) vrstva je priehľadná kremenná vrstva, ktorá je vo všeobecnosti jednou tretinou hrúbky steny (asi 3–5 mm) a má relatívne nízky obsah bublín (v závislosti od techniky spracovania), a preto bude hladký povrch bez defektov v kontakte s roztaveným kremíkovým kemitovým povrchom (to prispieva k kontrolovanej kontaminácii a zabezpečením stabilných podmienok pre kryštálový rast).

Vonkajšia strana je vrstvená s vyššou úrovňou bublín prispievajúcich k deformačnej pevnosti Crucible, vyšším odporom tepelného napätia a tepelnou izoláciou z tepelného zdroja pre rovnomernosť žiarenia. Vrstvy téglika mu umožňujú udržiavať formu a integritu, a to napriek diferenciálnym tepelným gradientom, ktoré existujú v procese ťahania kryštálov.

Moderné kremenné krížové predmety sa vyvíjali ďalej ako tradičná dvojvrstvová štruktúra v dôsledku pokroku vo výrobnej technológii. Mnoho krížových predmetov využíva trojvrstvovú štruktúru-priehľadnú vnútornú vrstvu, priehľadnú strednú vrstvu, ktorá má bubliny rozptýlené cez kremeň a vonkajšiu tenkú vrstvu bublinového kremeňa. Trojvrstvové štruktúry ponúkajú lepšiu mechanickú silu, tepelné riadenie a nákladové výhody a zlepšujú charakteristiky prenosu tepla. Niektoré krížové predmety tiež aplikujú povlaky alkalických kovových iónov (napr. Roztoky iónov bária) na najvnútornejšiu plochu alebo používajú vysoko čistotu syntetický kremeň v špecifických vrstvách, aby pomohli znížiť obsah kyslíka, vyčerpané čistoty a zlepšiť celkovú kvalitu vytiahnutých jednotlivých kryštálov.

Výrobné kremenné krížové predmety pre polovodiče majú byť držané tak, aby boli prísne tolerancie kontroly kvality pri potrebných čistotách, čo je zvyčajne niekoľko častí na miliardu kovových nečistôt. Suroviny sú starostlivo vybrané a čistené, aby sa odstránili všetky kontaminanty. Vytvárajú sa do hrubých rozmerov, pričom správne tepelné spracovanie a povrchový povrch je dokončený na riešenie rozmerovej presnosti, mechanickej pevnosti a čistoty. Proces je zameraný na zabezpečenie toho, aby sa krížové predmety zostali spoľahlivé, zatiaľ čo sa vystavia predĺženej vysokoteplotnej expozícii v tvrdých chemických prostrediach.

Výkon kremenného téglika pri produkcii polovodičov ovplyvňuje uniformitu mriežky kremíkového kryštálu, hustoty defektov a kyslíka v ingot. Vysoké čistoty a defektné kremenné krížové klície, obmedzia dislokáciu kryštálových defektov, zvýši rýchlosť výnosu a vytvorí schopnosť generovať doštičky na postúpenie geometrie zariadenia. Ak ste producentom ICS-Performance ICS, kremíka s fotovoltaickými alebo výkonovou elektronikou, výber a používanie kremenných krížov vysokej kvality je rozhodujúcim prvkom na stanovenie a optimalizáciu nákladovej výkonnosti.

StrednexPolovodičový kremeňKrucity sú základným pomocným materiálom pre akýkoľvek systém ťahania kremíkových kryštálov. Jedinečné atribúty čistoty, stability s vysokou teplotou a patentované viacvrstvové štruktúry z neho robia vhodný materiál na podporu prísnosti procesu ťahania CZ a zároveň poskytuje konzistentný a reprodukovateľný výkon. Keď sa výroba polovodičov pohybuje smerom k vyššej integrácii a pevnejším toleranciám, významné výhody pre presné inžinierske kremenné krížové predmety budú generovať väčší význam pri umožňovaní a vývoji elektronických technológií novej generácie.