SiC vykurovacie vlákno

Semicorex SiC Heating Filament, vysokovákuové vykurovacie teleso vyvinuté na spracovanie plátkov v novej výrobe polovodičov, je inovatívne vykurovacie teleso navrhnuté sgrafitové jadroa vysokou čistotoupovlak z karbidu kremíka. Špeciálne vlákno využíva tepelnú vodivosť grafitu a trvanlivosť a ochranu SiC, výsledkom čoho je stabilný a energeticky účinný ohrievač v priebehu času. Vyhrievacie vlákno SiC je navrhnuté tak, aby rovnomerne ohrievalo doštičky a dosahovalo špecifikácie, vďaka čomu je vynikajúcim komponentom pre vysokoteplotné spracovanie polovodičov, ako je epitaxia, difúzia a žíhanie.

Vyhrievacie vlákno SiC je vyrobené z vysoko čistého grafitu kvôli tepelným vlastnostiam grafitu a kvalitným elektrickým vlastnostiam. Grafit poskytuje hlavnú funkciu ohrevu umožňujúcu rýchlu odozvu a efektívne vykurovanie pri elektrickej záťaži. Hustý vysoko čistý povlak SiC chráni vlákno pred možnými zdrojmi kontaminácie. Povlak SiC chráni plátok pred chemickou kontamináciou a oxidáciou, ako aj častice v komore, predlžuje životnosť vlákna a vytvára čisté prostredie komory.

Kľúčovou kvalitou vyhrievacieho vlákna SiC je schopnosť zabezpečiť rovnomerné zahrievanie plátku. Zmeny teploty na plátku môžu viesť k defektom alebo strate výťažku. Vyhrievacie vlákno SiC má vynikajúcu tepelnú vodivosť a pevná konštrukcia vlákna zaisťuje, že teplo bude stabilnejšie a rovnomernejšie, čím sa obmedzia teplotné gradienty pre absolútnu kontrolu procesu.

Vyhrievacie vlákno SiC je prispôsobiteľné, hodnota elektrického odporu každého vlákna môže byť prispôsobená jeho procesnému nástroju a prevádzkovému prostrediu. Toto prispôsobenie umožňuje technológii karbidu kremíka riadiť hodnotu odporu geometrie vlákna, hrúbku povlaku a vlastnosti materiálu. Vyhrievacie vlákno SiC môže byť prispôsobené mnohým rôznym dizajnom pecí s mnohými rôznymi veľkosťami plátkov a procesnými receptúrami. To je výhodné najmä pre výrobcov polovodičov, pretože to umožňuje efektívnejšie fungovanie súčasných procesov a zachováva kompatibilitu s už existujúcimi systémami.  Treťou vlastnosťou výkonu je odolnosť. Pri vysokoteplotných polovodičových procesoch je vykurovací článok vystavený veľmi agresívnemu chemickému prostrediu a opakovaným tepelným cyklom.

Aplikácie Semicorex SiC Heating Filament pokrývajú širokú škálu procesov výroby polovodičových zariadení. Napríklad počas epitaxného rastu poskytuje vyhrievací prvok stabilnú a rovnomernú teplotu substrátu na nanášanie vysoko kvalitných kryštalických filmov.