SIC vstupné krúžky

Vstupné krúžky SemiCorex SIC sú životne dôležitými komponentmi v polovodičových spracovateľských systémoch, najmä v epitaxiálnych reaktoroch a depozičných zariadeniach, kde uniformita plynu a stabilita procesu ovplyvňujú spracovanie oblátok, spolu s kvalitou a výkonom zariadenia. Vstupné krúžky SIC sú navrhnuté tak, aby regulovali vstup procesných plynov, stabilizovali sa vstupné podmienky presnosti a zároveň poskytovali rovnomerný prietok plynu cez povrchy doštičiek vzhľadom na teplotu a chemickú reaktivitu počas spracovania, najmä pri zvýšených teplotách. Vstupné krúžky SIC sú manfaktované z extrémne vysokokvalitného karbidu kremíka (SIC), čo im umožňuje byť odolný voči tepelnému šoku, odolnosti voči korózii a málo až žiadna tvorba častíc - základná zložka v pokročilej polovodičovej výrobe.

Hlavnou výhodou karbidu kremíka ako materiálu je schopnosť zažiť extrémne tepelné podmienky. V prípade epitaxného rastu a iných polovodičových procesov majú reaktory trvalé vysoké teplotné hladiny, ktoré môžu prekročiť hladinu tradičných materiálov. Vstupné krúžky SIC sú schopné tepelne tolerovať po takýchto trvalo udržateľných teplotách, bez deformácie a najmä bez deformácie. Sú schopní udržať rozmer stabilnú, aby sa predišlo narušeniu rovnomernosti prietoku plynov. Teplotná odolnosť vstupných kruhov SIC ďalej poskytuje jednotné podmienky procesov v dlhých prevádzkových cykloch. Tento faktor je cenný pre veľkoobjemovú výrobu a výrobu zariadení.

Chemická odolnosť, okrem tepelnej stability, je ďalšou dôležitou kvalitouSicVstupné krúžky. Polovodičové procesy môžu zahŕňať reaktívne plyny, ako sú silány, vodík a amoniak, alebo zahŕňajú použitie niektorých chlórových chemikácií. Materiály, ktoré korodujú alebo degradujú, keď sú vystavené reaktívnym plynom, môžu pri prvej expozícii spôsobiť kontamináciu doštičiek a nakoniec vedú k strate účinnosti procesu. SIC poskytuje vysokú odolnosť voči chemickému útoku, udržiava inertný povrch, ktorý zachováva radikálnu čistotu, zabraňuje kontaminácii typu častíc a rozširuje životnosť vstupného kruhu, pričom si zachováva integritu oblátky, čo vedie k vyšším výťažkom a zníženým defektom.

Presnosť obrábania je ďalším dôležitým faktorom pri výkone vstupného kruhu. Geometria kruhu je rozhodujúca pri regulácii charakteristík toku procesných plynov. Mierne nezrovnalosti vedú k nerovnomernému rozdeleniu plynov a vedú k nejednoznačnému rastu filmu alebo do dopingových charakteristík naprieč doštičkami.SIC vstupné krúžkysa vyrábajú pomocou presných techník, dosiahnutia blízkych tolerancií, dobrého rovina a vynikajúcich povrchových povrchových úprav. Presný aspekt vstupných krúžkov zaisťuje opakovateľné, jednotné dodávanie plynov do procesnej komory, ktorá priamo ovplyvňuje riadenie procesu doštičiek.

Prispôsobenie je ďalšou významnou výhodou vstupných krúžkov SIC. Vzhľadom na odlišné návrhy polovodičových zariadení a procesov vyžaduje každá aplikácia, aby sa riadne prispôsobil iná komponent. Vstupné prstene SIC sa môžu vyrábať v rôznych veľkostiach, tvaroch a typoch, čím uspokojujú potreby rôznych modelov a aplikácií reaktorov. Výkon je možné ďalej zlepšiť pomocou rôznych povrchových ošetrení a leštenia pre optimálny výkon, čo zákazníkom poskytuje jedinečné riešenie prispôsobenie ich výrobnému prostrediu.

Okrem technických prínosov majú vstupné prstene SIC aj prevádzkové a ekonomické prínosy. Trvanlivosť proti tepelným a chemickým napätiam znamená menej výmen a nižšie náklady na údržbu, čo sa premieta na menej prestoje a spotrebného materiálu. Pri pokuse o maximalizáciu priepustnosti a zvýšenie účinnosti v polovodičovej FAB, vstupné prstene SIC ponúkajú dlhodobé nákladovo efektívne riešenie pri zachovaní kvality procesu.

StrednexSIC vstupné krúžkyKombinujte pokročilé vlastnosti materiálu kremíkového karbidu s kontrolovanou presnosťou, aby ste dosiahli zvýšený výkon pre aplikácie výroby polovodičov. Vstupné prstene SIC Vstupné prstene s vysokou tepelnou rezistenciou, vynikajúcou chemickou stabilitou a presným obrábaním sú navrhnuté tak, aby ponúkli spoľahlivosť pri regulácii prietoku plynu pre high-tech aplikácie s dlhodobou trvanlivosťou. Vstupné krúžky SIC bez kontaminácie a prispôsobiteľné sú kľúčovým komponentom pre FAB, ktoré chcú udržiavať stabilitu procesu, vysokú účinnosť a výnos pre zariadenia. Výberom vstupných krúžkov SIC od Semicorexu pracujú výrobcovia polovodičov s osvedčeným riešením navrhnutým tak, aby vyhovovali požiadavkám najťažších procesov vo výrobe polovodičov.