Veko SIC

Semicorex SIC veko je dôležitou súčasťou, ktorá je navrhnutá špeciálne pre spracovanie polovodičov. Je určený pre najťažšie prostredie v epitaxii, implantácii iónov a vysokoteplotných aplikáciách. Vyrába sa z karbidu kremíka Ultra-Pure, ktorý má extrémne stabilné vlastnosti materiálu a precíznu precíznu. Dlhodobá konzistentnosť, trvanlivosť a čistota sú kľúčovými dôvodmi na výber Semicorex SIC LID na použitie v pokročilých procesoch výroby polovodičov.

Kremíkový karbid (sic)Má celý rad nehnuteľností, ktoré sú jedinečné v porovnaní s tradičnou keramikou alebo kovovými materiálmi. Jednou z hlavných výhod SIC je jeho odolnosť voči vysokým teplotám. SIC si môže zachovať svoju štrukturálnu integritu a mechanickú stabilitu - po dlhé časové obdobia aj pri zvýšených teplotách. Vďaka tomu je SIC ideálnym pre procesy, ako je epitaxia chemického depozície pary (CVD) alebo implantácia vysokoenergetických iónov. Kovy a plasty by deformovali, oxidovali alebo kontaminovali pri extrémnych teplotách, zatiaľ čo SIC si zachová svoju rozmerovú stabilitu a nebude pozitívne interagovať so spracovaním doštičiek.

Chemická odolnosť je ďalším rozlišovacím znakom viečok SIC. V polovodičovom spracovaní prostredí, s ktorými by ste sa mohli stretnúť s korozívnymi plynmi, plazmovými alebo reaktívnymi chemikáliami, nie je neobvyklé. V týchto scenároch poskytne povrch SIC inertnú bariéru, aby odolal týmto kontaminantom z degradovania povrchu v priebehu času, čo viedlo k dlhšej účinnej životnosti. Táto dlhovekosť sa rovná zníženiu nákladov na údržbu, zníženiu prestoje zariadenia a opakovateľnosťou počas predĺžených procesných cyklov. Vďaka týmto faktorom je veko SIC lepšou voľbou pre FAB, ktoré si vyžadujú nepretržitú výrobu s vysokým výnosom v porovnaní s tradičnými materiálmi.

Rovnako ako chemická odolnosť, aj čistota je tiež prvoradá aj v polovodičovej aplikácii. Prítomnosť stopových kontaminantov môže mať negatívny vplyv na výkon a výnos zariadenia. Veko SIC je vyrobené z materiálov karbidu kremíka s vysokou čistotou, ktoré vylučujú možnosť kovových nečistôt, ktoré tečú do procesného prostredia. Okrem toho je zaručené, že bude čo najčistejší a stabilný, pretože sa týka kontaminantov a vonkajších síl ovplyvňujúcich výkon veka, čo je rozhodujúce pri plnení dnešných požiadaviek na výrobu polovodičov, kde musia byť objekty na úrovni nanometrov definované bez rozmerov a kontrolou kontaminantov. Flexibilita, ktorú ponúka veko SIC, je dodatočná hodnota. Každý komponent môže byť navrhnutý pre potreby konkrétneho zákazníka s ohľadom na veľkosť, geometriu a povrchovú úpravu. To zaisťuje, že veko sa dá ľahko začleniť a integrovať sa do rôznych modelov zariadení a procesné nástroje.

Presnosť obrábaniaSicVEKY ďalej zlepšujú hodnotu veka SIC. Polovodičové nástroje vyžadujú najvyššiu mechanickú presnosť v dôsledku veľkých kolísaní rozmerovej kompatibility a rovnomernosti povrchu, dokonca aj menšie odchýlky v uniformite a hrúbke materiálu môžu vážne ohroziť konzistencie procesu, priepustnosť a kvalitu produktu. Prostredníctvom pokročilých technológií v spracovaní materiálov majú sic viečka plochosť, rovnomernosť povrchu a tolerancie, ktoré presahujú konvenčné priemyselné normy a ponúka mechanickú hrúbku tesnenia, zvyčajne tisíce/tisíce palcov (TIR). Vysoká rovinnosť umožňuje utesnenie mechanického prispôsobenia, ako aj zabezpečenie limitov laboratórnej triedy, aby sa mohli replikovať podmienky vo výrobnom procese. Toto je zrejmé najmä vo veľkoobjemových FAB, kde dôraz na opakovateľnosť podmienok je rozhodujúci pre výkon polovodičových zariadení. Keď sa usilujete o presné inžinierstvo, hovorí priamo, aby sa získala optimalizácia. Keď sú SIC LID v typickom praktickom používaní, napríklad v epitaxii, kde SIC veko sedí tepelne a chemicky stabilné, aby sa dostalo do reaktora alebo v iónovom implantačnom systéme, aby odolali energetickým časticám vyhodený Prečo sú veky SIC predurčené na synonymum v produkcii polovodičov v tuhom stave.

Semicorex SIC LID predstavuje to najlepšie z materiálových vedeckých a materiálových inžinierstiev a ponúka najlepší možný výkon v prostredí polovodičov, medzi ich vysoké teplotné tolerancie, chemická odolnosť, ideálna čistota, vlastné výroby, presné spracovanie, bude fungovať SIC LID.