Procesné rúrky SiC

Procesné rúrky Semicorex SiC sú dôležitými štrukturálnymi komponentmi pri oxidácii, difúzii, RTA/RTP v procese výroby polovodičov. Vo všeobecnosti je to trubica s veľkým priemerom ako priestor reaktorovej pece, všetky chemické procesy sa budú diať vo vnútri. Pevnosť a odolnosť voči tepelným šokom sú teda veľmi základné body produktu.

Procesné rúrky SiC sú vyrobenéspekaný karbid kremíkamôže to byť SiSiC, SSiC alebo RSiC a CVD SiC povlak na povrchu, ktorý vytvorí vrstvu s ultra vysokou čistotou. Môže zabrániť znečisteniu časticami, popolom atď. A materiál má veľmi vysokú odolnosť proti tepelným šokom, takže procesné rúrky SiC môžu zostať stabilné pri vysokej teplotnej odolnosti a zabrániť tomu, aby sa nečistoty pri vysokých teplotách vyzrážali a tým znečisťovali životné prostredie.

Tieto procesné rúrky SiC sú navrhnuté na použitie v atmosfére s reaktívnym plynom (kyslík), ochranným plynom (dusík) a minimálnym množstvom plynného chlorovodíka a ponúkajú vynikajúcu chemickú odolnosť, tepelnú stabilitu a čistotu materiálu do 1250 °C. Procesné trubice Semicorex SiC kombinujú najmodernejšiu výrobu 3D tlače s povlakom chemickej parnej depozície (CVD), aby poskytovali vynikajúci výkon a životnosť v tých najextrémnejších tepelných a chemických podmienkach.

Procesné rúrky Semicorex SiC sa vyrábajú pomocou integrovaného lisovacieho procesu 3D tlače namiesto konvenčnej lisovanej alebo zostavenej rúrky. Tento výrobný proces umožňuje súvislú, konzistentnú štruktúru keramiky bez spojov a slabých oblastí, čo vytvára vysoký stupeň zložitosti a rozmerovej vernosti, čo môže zmierniť koncentrácie napätia a zároveň zvýšiť mechanickú pevnosť. Monolitická štruktúra navyše poskytuje utesnenie nepriepustné pre zemný plyn, čím sa znižuje kontaminácia a úniky počas vysokoteplotných procesov.

TheSiCtelesa je materiál s ultra nízkym obsahom nečistôt (< 300 ppm), ktorý poskytuje vynikajúcu čistotu materiálu a stabilitu pre reaktívne atmosféry. Okrem toho je rúrka potiahnutá vrstvou karbidu kremíka CVD (< 5 ppm), aby sa zlepšila odolnosť proti korózii a ochrana povrchu.

Semicorex poskytuje prispôsobené služby, môžeme vyrobiť podľa výkresov zákazníkov, aby sme splnili požadované špecifikácie. Procesné rúrky Semicorex SiC teda môžu byť alternatívne vhodné nielen pre horizontálne pece, ale aj vertikálne pece.