Semicorex Silicon Pedestal, často prehliadaný, ale kriticky dôležitý komponent, hrá zásadnú úlohu pri dosahovaní presných a opakovateľných výsledkov v polovodičových difúznych a oxidačných procesoch. Špecializovaná platforma, na ktorej spočívajú kremíkové člny vo vysokoteplotných peciach, ponúka jedinečné výhody, ktoré priamo prispievajú k zvýšenej rovnomernosti teploty, zlepšenej kvalite doštičiek a v konečnom dôsledku k vynikajúcemu výkonu polovodičových zariadení.**
1. Silikónový podstavec Semicorex stabilizujúci prostredie spracovania pre optimálne výsledky:
Vytvorenie stabilného základu pre krištáľové lode:Silikónový podstavec poskytuje robustnú a tepelne stabilnú platformu pre kremíkové člny v komore pece s vysokou teplotou. Táto stabilita zaisťuje, že člny si udržia svoju polohu a orientáciu počas celého procesu, čím sa zabráni nechcenému pohybu alebo nakloneniu, ktoré by mohlo narušiť dynamiku prúdenia plynu a narušiť rovnomernosť teploty.
Zlepšenie rovnomernosti teploty v reakčnej komore:Účinnou izoláciou silikónového člna od dna pece a stien, kremíkový podstavec minimalizuje tepelné straty vedením a podporuje rovnomernejšie rozloženie teploty v tepelnej reakčnej trubici. Táto vylepšená schopnosť tepelného manažmentu je rozhodujúca pre dosiahnutie konzistentných a opakovateľných difúznych alebo oxidačných profilov na celom povrchu plátku.
Zvýšenie účinnosti izolácie pre optimalizované využitie energie:Vlastné tepelnoizolačné vlastnosti silikónového podstavca prispievajú k energeticky efektívnejšiemu procesu minimalizovaním tepelných strát do okolitého prostredia. To sa premieta do rýchlejších cyklov ohrevu a chladenia, zníženej spotreby energie a v konečnom dôsledku aj nižších celkových nákladov na spracovanie.
2. Materiálová synergia pre vynikajúcu kvalitu oblátok:
Zodpovedajúca tepelná expanzia pre zníženie napätia plátku:Kremíkový podstavec, vyrobený z rovnakého vysoko čistého kremíkového materiálu ako samotné člny a doštičky, ponúka zásadnú výhodu oproti alternatívnym materiálom, ako je kremeň alebo karbid kremíka. Táto materiálová synergia zaisťuje, že podstavec, čln a doštičky sa rozťahujú a zmršťujú takmer identickými rýchlosťami počas ohrievacích a chladiacich cyklov, čím sa minimalizuje riziko tepelného napätia, prehýbania plátku a kryštalografických defektov, ktoré môžu negatívne ovplyvniť výnos a výkon zariadenia.
Minimalizácia kontaminácie a nesúladu mriežok:Použitie vysoko čistého kremíka pre kremíkový podstavec aj čln eliminuje potenciál kontaminácie z rôznych materiálov, čím zabezpečuje nedotknuté prostredie na spracovanie plátkov. Táto materiálová kompatibilita tiež minimalizuje riziko nesúladu mriežky na rozhraní plátok-loď, čo ďalej prispieva k zlepšeniu kvality kryštálov a zníženiu hustoty defektov.