Náhradné diely v epitaxnom raste

Náhradné diely Semicorex v epitaxnom raste sú absolútne kritické, najmä pre procesy, ktoré zahŕňajú nastavenie kremenných trubíc. Tieto časti sú nevyhnutné na uľahčenie toku plynu na poháňanie rotácie základne podnosu a zabezpečujú presnú kontrolu teploty počas procesu epitaxného rastu. Náhradné diely Semicorex v epitaxnom raste, hovorovo známe ako polovičné diely, sú precízne skonštruované tak, aby odolali vysokým teplotám a korozívnemu prostrediu vlastnému epitaxiálnym rastovým komorám. Sú vyrobené z karbidu kremíka (SiC) a ponúkajú výnimočnú tepelnú a chemickú stabilitu, vďaka čomu sú ideálnou voľbou pre takéto náročné aplikácie. Použitie SiC zaisťuje, že tieto diely sú schopné odolať aj tým najnáročnejším podmienkam.

Náhradné diely v epitaxnom raste pripomínajú tvar polmesiaca, ktorý je navrhnutý tak, aby tesne zapadol do zostavy kremennej trubice. Ich unikátna polmesiaca konfigurácia umožňuje ich ľahké vkladanie a vyberanie zo systému, čo uľahčuje údržbu a postupy výmeny s účinnosťou a presnosťou.

Náhradné diely v epitaxnom raste slúžia na viaceré účely. Po prvé, pomáhajú pri kontrolovanom dodávaní plynov nevyhnutných pre proces epitaxného rastu. Reguláciou prietokov a distribúcie plynu zabezpečujú rovnomerné ukladanie polovodičových materiálov na povrch substrátu, čo je kľúčové pre dosiahnutie požadovaných vlastností materiálu a výkonu zariadenia.

Náhradné diely v epitaxnom raste prispievajú k rotačnému pohybu podnosu v rastovej komore. Táto rotácia je kľúčová pre podporu rovnomernej distribúcie nanesených materiálov, čím sa bráni tvorbe nepravidelností alebo defektov v epitaxiálnych vrstvách.