Disk prijímača

Semicorex Susceptor Disc, vyrobený z vysoko čistého grafitu a potiahnutý vrstvou karbidu kremíka (SiC) pomocou techniky MOCVD, kombinuje výnimočné tepelné vlastnosti s pozoruhodnou chemickou stabilitou. Povlak z karbidu kremíka zaisťuje vynikajúcu odolnosť voči vysokým teplotám a korozívnym podmienkam, čo je rozhodujúce pre zachovanie integrity susceptorového disku v náročných prostrediach.

Okrem toho povlak SiC na susceptorovom disku zvyšuje jeho tepelnú vodivosť, čo umožňuje rýchlu a rovnomernú distribúciu tepla kritickú pre konzistentný epitaxný rast. Účinne absorbuje a vyžaruje teplo, čím poskytuje stabilnú rovnomernú teplotu, ktorá je nevyhnutná pre nanášanie tenkých vrstiev. Táto jednotnosť je životne dôležitá pre dosiahnutie vysoko kvalitných epitaxných vrstiev, ktoré sú základom funkčnosti a výkonu pokročilých polovodičových zariadení.

Dizajn susceptorového disku tiež rieši problém tepelnej rozťažnosti. Jeho minimálny koeficient tepelnej rozťažnosti zaisťuje silnú väzbu s epitaxnými vrstvami, čím sa znižuje riziko praskania v dôsledku tepelných cyklov. Táto funkcia spolu s vysokým bodom topenia a vynikajúcou odolnosťou proti oxidácii susceptorového disku umožňuje spoľahlivú prevádzku v extrémnych podmienkach.

Vďaka týmto pokročilým vlastnostiam Susceptor Disc nielenže spĺňa, ale aj prekračuje prísne požiadavky moderných aplikácií MOCVD a poskytuje spoľahlivé, vysokovýkonné riešenie, ktoré zvyšuje celkovú účinnosť a výstup procesu epitaxného rastu.