Susceptor s mriežkou

Semicorex Susceptor with Grid je špecializovaný komponent používaný v procese epitaxného rastu polovodičových doštičiek. Toto kritické zariadenie je navrhnuté tak, aby prenášalo a podporovalo doštičky počas nanášania materiálov v systéme kovovo-organického chemického nanášania z plynnej fázy (MOCVD). Susceptor s mriežkou hrá kľúčovú úlohu pri zabezpečovaní rovnomerného a kontrolovaného rastu epitaxných vrstiev na polovodičovom plátku.

Susceptor s mriežkou je vyrobený z materiálov optimalizovaných pre jeho funkciu. V tomto prípade je vyrobený z grafitu potiahnutého MOCVD SiC (Metal-Organic Chemical Vapour Deposition Silicon Carbide). Tento výber materiálov poskytuje niekoľko výhod, vrátane odolnosti voči vysokým teplotám, chemickej stability a vynikajúcej tepelnej vodivosti. Povlak SiC na grafite zvyšuje trvanlivosť a odolnosť susceptora voči drsným podmienkam vyskytujúcim sa počas procesu epitaxného rastu.

Susceptor s mriežkovou štruktúrou slúži ako podporný mechanizmus pre polovodičové doštičky. Je strategicky navrhnutý tak, aby držal doštičky bezpečne na mieste a zároveň umožňoval efektívny tok plynov a rovnomerné ukladanie materiálov. Mriežkový vzor pomáha distribuovať teplo a reaktanty rovnomerne po povrchu plátku, čo prispieva k presnej kontrole hrúbky a zloženia epitaxnej vrstvy.

Semicorex Susceptor s mriežkou je kritickým komponentom vo výrobnom procese pokročilých polovodičových zariadení. Jeho robustná konštrukcia a špecializovaný dizajn z neho robia nevyhnutný nástroj na dosiahnutie vysokokvalitného epitaxného rastu, ktorý zabezpečuje výrobu polovodičov s vynikajúcim výkonom a spoľahlivosťou.