Grafitové diely potiahnuté TaC

Semicorex TaC Coated Graphite Parts sú vyrobené z vysoko čistého izostatického grafitu a sú potiahnuté karbidom tantalu (TaC), ktorý poskytuje bezkonkurenčnú odolnosť voči extrémnym teplotám. Grafitové diely potiahnuté TaC sú navrhnuté tak, aby odolali náročným podmienkam, s ktorými sa stretávame pri výrobe polovodičov, a sú vynikajúce pri zlepšovaní rôznych procesov, ktoré sú kľúčové pre výrobu vysokokvalitných polovodičových produktov. Ich výnimočná tepelná odolnosť zaisťuje spoľahlivosť a dlhú životnosť aj v tých najnáročnejších tepelných prostrediach.

Grafitové diely potiahnuté TaC hrajú kľúčovú úlohu pri optimalizácii kľúčových techník spracovania polovodičov, vrátane difúznych procesov, oxidačného žíhania, LPCVD a PECVD. Grafitové diely potiahnuté TaC uľahčením presnej kontroly teploty a zabezpečením jednotnosti medzi substrátmi významne prispievajú k zlepšeniu kvality produktu a efektívnosti výroby.

Grafitové diely s povlakom Semicorex TaC sú navrhnuté tak, aby spĺňali prísne požiadavky na výrobu polovodičov. Od vylepšenia procesov difúzie až po zlepšenie kvality a účinnosti rôznych techník nanášania sú grafitové diely s povlakom TaC nenahraditeľným prínosom pri snahe o dokonalosť vo výrobe polovodičov.