Tesniaci krúžok potiahnutý TaC

Tesniaci krúžok potiahnutý Semicorexom TaC vykazuje vynikajúcu inertnosť voči širokému spektru korozívnych plynov a chemikálií používaných v polovodičových procesoch, vrátane chémie plazmového leptania (napr. fluór, chlór, bróm), dopantov (napr. bór, fosfor, arzén) a agresívnych látok čistiace prostriedky. Táto inertnosť zabraňuje degradácii tesnenia a kontaminácii citlivých procesných komôr.

A s teplotou topenia presahujúcou 3800 °C si tesniaci krúžok potiahnutý TaC zachováva svoju štrukturálnu integritu a mechanickú pevnosť pri zvýšených teplotách, s ktorými sa stretávame počas spracovania plátkov. To zaisťuje spoľahlivý tesniaci výkon počas procesov vysokoteplotného žíhania, nanášania a leptania.

Extrémna tvrdosť a nízky koeficient trenia tesniaceho krúžku potiahnutého TaC poskytuje výnimočnú odolnosť proti opotrebovaniu, poškriabaniu a oderu. Toto je kritické pri dynamických tesniacich aplikáciách, kde opakovaný pohyb alebo kontakt s plátkami a inými komponentmi môže viesť k tvorbe častíc a zlyhaniu tesnenia.

Tesniaci krúžok potiahnutý TaC vykazuje veľmi nízke rýchlosti odplynenia, dokonca aj pri zvýšených teplotách, vďaka čomu sú ideálne pre aplikácie s vysokým vákuom. To zaisťuje čistotu procesu a zabraňuje usadzovaniu nežiaducich nečistôt na citlivých povrchoch plátkov.

Špecifické výhody v aplikáciách polovodičov:

Predĺžená životnosť tesnenia:Tesniaci krúžok potiahnutý TaC výrazne zvyšuje životnosť tesnenia tým, že poskytuje vynikajúcu odolnosť voči chemickému napadnutiu, tepelnej degradácii a mechanickému opotrebovaniu. Tým sa znižuje frekvencia výmeny tesnení, minimalizujú sa prestoje a náklady na údržbu.

Zlepšený výťažok procesu a kvalita plátku:Inertný charakter tesniaceho krúžku potiahnutého TaC minimalizuje tvorbu častíc a kontamináciu, čo vedie k vyšším výťažkom procesu a zlepšenej kvalite plátku. To je rozhodujúce pre výrobu vysokovýkonných polovodičových zariadení s prísnymi toleranciami defektov.

Vylepšená doba prevádzky a produktivita zariadenia:Dlhšia životnosť tesnení a znížené požiadavky na údržbu prispievajú k zvýšeniu prevádzkyschopnosti zariadenia a celkovej produktivite. To je kľúčové pre maximalizáciu výkonu a splnenie požiadaviek veľkoobjemovej výroby polovodičov.