Tuba potiahnutá TaC

Semicorex TaC Coated Tube predstavuje vrchol materiálovej vedy, navrhnutý tak, aby odolal extrémnym podmienkam, s ktorými sa stretávame pri výrobe pokročilých polovodičov. Trubka potiahnutá TaC, vytvorená nanesením hustej, rovnomernej vrstvy TaC na vysoko čistý izotropný grafitový substrát prostredníctvom chemickej depozície z plynnej fázy (CVD), ponúka presvedčivú kombináciu vlastností, ktoré prekonávajú bežné materiály v náročných vysokoteplotných a chemicky agresívnych prostrediach. **

Odoslať dopyt

Popis produktu

Sila Semicorex TaC Coated Tube spočíva v synergickej kombinácii základného materiálu a špecializovaného náteru:

Vysoko čistý izotropný grafitový základ:Jadro trubice potiahnutej TaC je vytvorené z izotropného grafitu s ultra vysokou čistotou, ktorý je známy svojou vynikajúcou tepelnou vodivosťou, nízkou tepelnou rozťažnosťou a prirodzenou odolnosťou voči tepelným šokom. Tento základ poskytuje robustnú a stabilnú platformu schopnú odolávať rýchlym teplotným výkyvom a vysokému tepelnému zaťaženiu, ktoré je charakteristické pre spracovanie polovodičov.

Karbid tantalu---Štít odolnosti a inertnosti:Povlak TaC aplikovaný CVD transformuje grafitový substrát a dodáva mu výnimočnú tvrdosť, odolnosť proti opotrebovaniu a chemickú inertnosť. Táto ochranná vrstva pôsobí ako bariéra proti agresívnym plynom, plazme a reaktívnym látkam, s ktorými sa stretávame pri výrobe polovodičov, čím zabezpečuje štrukturálnu integritu a dlhú životnosť trubice.

Táto jedinečná kombinácia materiálov sa premieta do radu výhod, ktoré sú rozhodujúce pre pokročilú výrobu polovodičov:

Bezkonkurenčná teplotná odolnosť:TaC sa môže pochváliť jedným z najvyšších bodov topenia zo všetkých známych materiálov, ktorý prekonáva dokonca aj karbid kremíka (SiC). Táto extrémna teplotná odolnosť umožňuje trubici s povlakom TaC spoľahlivo fungovať v procesoch vyžadujúcich teploty presahujúce 2500 °C, čo umožňuje výrobu polovodičových zariadení novej generácie s náročnými tepelnými rozpočtami.

Ultra vysoká čistota pre kritické riadenie procesov:Udržiavanie nedotknutého procesného prostredia je pri výrobe polovodičov prvoradé. Použitie vysoko čistého grafitu a starostlivý proces CVD povlaku zaisťujú minimálne uvoľňovanie plynov alebo tvorbu častíc z trubice potiahnutej TaC, čím sa predchádza kontaminácii, ktorá by mohla ohroziť citlivé povrchy plátkov a výkon zariadenia.

Neochvejná chemická odolnosť:Chemická inertnosť trubice potiahnutej TaC poskytuje výnimočnú odolnosť voči širokému spektru korozívnych plynov, reaktívnych iónov a plazmových prostredí bežne používaných v polovodičových procesoch, ako je leptanie, nanášanie a žíhanie. Táto robustná chemická stabilita sa premieta do predĺženej životnosti trubice, znížených požiadaviek na údržbu a nižších celkových nákladov na vlastníctvo.

Vylepšená mechanická odolnosť pre predĺženú životnosť:Silná väzbová sila medzi povlakom TaC a grafitovým substrátom, spojená s vlastnou tvrdosťou trubice s povlakom TaC, poskytuje výnimočnú odolnosť voči opotrebovaniu, erózii a mechanickému namáhaniu. Táto zvýšená odolnosť sa premieta do dlhšej životnosti a skrátených prestojov pri výmene, čím sa zvyšuje efektivita procesu a priepustnosť.