Vodiace krúžky potiahnuté karbidom tantalu

Vodiace krúžky sú typicky inštalované nad grafitovým téglikom v rámci systému tepelného poľa. Pracujú v spojení s téglikom, ohrievačom a termoizolačným valcom a ďalšími polovodičovými komponentmi na vedenie a riadenie distribúcie tepla a procesných plynov.

Avýhodyz Tpovlak z karbidu antalu

Známy pre vynikajúci výkonTaC povlakv treťej generácii polovodičových monokryštálových rastových aplikácií ponúka povlak karbidu tantalu nasledujúce výhody:

1. Výnimočná tepelná stabilita

Karbid tantalu sa vyznačuje vynikajúcou tepelnou odolnosťou s ultra vysokým bodom topenia 3880 ℃. Vďaka tejto výnimočnej tepelnej stabilite môžu byť vodiace krúžky Semicorex potiahnuté karbidom tantalu stabilne používané v prostredí s vysokou teplotou pod 2500 ℃. Okrem toho kombinácia týchto dvoch materiálov minimalizuje riziká praskania a odlupovania povlaku spôsobeného teplotnými zmenami, čo výrazne umožňuje štrukturálnu integritu komponentu pri opakovaných procesoch zahrievania a chladenia.

2. Pozoruhodná odolnosť proti korózii

Karbid tantalu má pozoruhodnú odolnosť proti korózii a oxidácii a je chemicky inertný voči väčšine reaktívnych plynov, ako je amoniak, vodík a kremík. Vďaka tejto chemickej stabilite vodiace krúžky Semicorex potiahnuté karbidom tantalu účinne zabraňujú reaktívnym plynom erodovať matricu a poškodzovať ich štrukturálnu integritu, pričom tiež zabraňujú riziku kontaminácie reaktantmi a nečistotami vstupujúcich do kryštálovej štruktúry.

Výkon vodiacich krúžkov Semicorex potiahnutých karbidom tantalu

Semicorexvodiace krúžky potiahnuté karbidom tantalupoužite vysoko čistý grafit ako matricu a naneste TaC povlak na povrch pomocou technológie CVD. Kombinácia týchto dvoch materiálov umožňuje, aby vodiace krúžky Semicorex potiahnuté karbidom tantalu poskytovali nasledujúce výhody:

1.Navádzanie toku plynu a optimalizácia prietokového poľa

Počas rastu kryštálov pomáha použitie vodiacich krúžkov optimalizovať distribúciu toku v tepelnom poli a nasmeruje reaktívne plyny do riadeného smeru toku a rovnomernej distribúcie. Vďaka svojej špeciálnej štruktúre môžu vodiace krúžky Semicorex potiahnuté karbidom tantalu viesť plyn tak, aby prúdil a distribuoval rovnomerne, čo účinne zabraňuje nadmerne vysokým alebo nízkym lokálnym koncentráciám plynu.

2. Regulácia teploty a optimalizácia tepelného poľa

Vodiace krúžky Semicorex potiahnuté karbidom tantalu vykazujú vynikajúcu tepelnú vodivosť, zohrávajú kľúčovú úlohu pri regulácii rozloženia teploty a poskytujú stabilné teplotné pole pre rast kryštálov. Napríklad vodiace krúžky Semicorex potiahnuté karbidom tantalu môžu pomôcť udržať teplotný gradient pri raste PVT kryštálov karbidu kremíka, čím sa zabezpečí, že sa materiály rozložia, transportujú a kryštalizujú za vhodných podmienok.