Teflónové kazety

Semicorex teflónové kazety sú vysoko výkonné nosiče oblátky špeciálne navrhnutých na použitie v náročných chemických prostrediach, kde je nevyhnutná čistota, chemická odolnosť a tepelná stabilita. Vyrobené z vysoko čistej polytetrafluóretylénu (PTFE), tieto kazety sa široko používajú pri výrobe polovodičov, leptaní mokrého, chemického čistenia a iných aplikácií, kde je vystavenie vysoko agresívne chemikálii rutinné. Vďaka ich nereaktívnej povahe sú ideálne na manipuláciu s jemnými substrátmi, ako sú kremíkové doštičky, sklenené panely a ďalšie presné komponenty bez zavedenia kontaminácie alebo častíc do procesu.

V rôznych procesoch výroby polovodičov, ako je litografia, leptanie a implantácia iónov, zohrávajú úlohu pri prenose a prenose doštičiek medzi rôznymi zariadeniami. Rôzne procesné zariadenia môžu mať rôzne požiadavky na rozhranie pre kazety, aby sa zabezpečilo, že dopravcovia doštičiek môžu byť presne prijaté a umiestnené.

Z hľadiska materiálu a dizajnu sú materiály, ktoré sú odolné voči teplu, vynikajúce mechanické vlastnosti, rozmerovú stabilitu a sú trvanlivé, ant-statické, nízke výtoky, nízke zrážky a recyklovateľné. Rôzne veľkosti oblátky, procesné uzly a procesy používajú rôzne materiály. Všeobecné materiály sú PFA, PTFE, PP, Peek, PES, PC, PBT, PEI, COP atď.

Teflónové kazety ponúkajú vynikajúcu chemickú odolnosť v prostrediach s použitím kyseliny hydrofluorovej, kyseliny dusičnej, kyseliny sírovej a ďalších silných korozívnych látok. Na rozdiel od konvenčných materiálov, ako je polypropylén alebo nehrdzavejúca oceľ, PTFE sa degraduje; Nepučáva; Vylúhuje žiadne látky v tvrdých chemických kúpeľoch. Výkon je preto zaručený po dlhé obdobia, a teda spoľahlivosť kazety pre vysoko výkonné výrobné linky a ultra čisté prostredie. Jeho robustnosť znamená nižšie potreby údržby a frekvenciu výmeny, čím sa znižuje dlhodobé prevádzkové náklady.

Teflónové kazety vykazujú veľmi vysokú tepelnú stabilitu. Môžu ľahko vydržať teploty od -200 ° C do +260 ° C, ktoré sú použiteľné pre kryogénne aj pre procesy vysokej teploty. Dokonca, ktoré sú umiestnené do vyhrievaných sušiacich komôr alebo chladných chemických kúpeľov, kazety nestratia svoju štrukturálnu silu; Nezobrajú sa ani neraku, zabezpečujú, aby doštičky zostali bezpečne držané počas spracovania. Táto odolnosť teploty významne prispieva k riadeniu procesu a rovnomernosti, ktoré sú rozhodujúce pre výrobu polovodičov a MEMS.

Rovnako dôležitou charakteristikou teflónových kazet je jej inertný, nelepiaci povrch. PTFE neodmysliteľne neumožňuje adsorpciu častíc a chemických zvyškov, čím sa znižuje riziká kontaminácie v prostredí čistých miestností. To musí byť spojené s hladkým povrchom povrchu, ktorý umožňuje opláchnutie ľahké a rýchle sušenie, a tak čistejšie výsledky a rýchlejší čas cyklu. V polovodičovom spracovaní, kde môžu byť defekty spôsobené dokonca aj mikroskopickými kontaminantmi, je táto úroveň čistoty a chemickej inerte povinná.

Každá kazeta je presne vyrobená na prísne tolerancie veľkosti, čím sa zaručuje stabilné zarovnanie a rozstupy pri presunení a umiestnenie do kvapaliny. Ich ľahko navrhnutá forma pomáha rýchlym chemickým prietokom a drenážou, ktorá urýchľuje chemické výmenné kurzy a zlepšuje čistenie alebo leptanú rovnomernosť na povrchu oblátky.  Kazety sú k dispozícii v štandardných veľkostiach pre 4-palcové, 6-palcové a 8-palcové doštičky, s možnosťami prispôsobenia k dispozícii na prispôsobenie špecifických rozmerov substrátu, počtu slotov a požiadaviek na manipuláciu.

Teflónové kazety, ktoré sú navrhnuté pre kompatibilitu s automatizovanými mokrými lavicami a robotickými systémami manipulácie s oblátkami, sa ľahko integrujú do väčšiny nastavení výroby polovodičov. Ich robustná konštrukcia a povrchová úprava čistej miestnosti spĺňajú prísne požiadavky prostredia certifikovaných izo. Všetky kazety sa podrobia dôkladnej kontrole a sú predbežné v ultra-pure vody, aby spĺňali štandardy čistoty potrebné pre pokročilú mikroelektronickú výrobu. Môžu byť poskytnuté osvedčenia o zhode a úplnej sledovateľnosti materiálu, aby sa zabezpečilo dodržiavanie protokolov zabezpečenia kvality.