Vertikálne člny s kremennými oblátkami

V procesoch výroby polovodičov musia polovodičové komponenty v reakčnej komore spĺňať prísne normy vysokej čistoty. V opačnom prípade môžu dokonca aj nečistoty alebo kontaminanty v mikroúrovni alebo nanoúrovni spôsobiť nezvratné poškodenie výkonu a výťažnosti polovodičových zariadení.

Lodičky z kremenných oblátoksa bežne inštalujú vertikálne vo vysokoteplotných reakčných komorách, ako sú difúzne pece, oxidačné pece a žíhacie pece, kde musia byť v priamom kontakte s plátkami. Vertikálne kremenné člny Semicorex sú vyrobené z vysoko čistých kremenných materiálov, aby splnili tieto požiadavky na vysokú čistotu. Tento múdry výber materiálu účinne zabraňuje kontaminácii plátku spôsobenej reaktantmi uvoľnenými z plátkov počas výrobného procesu.

Pri výrobe polovodičov sa od doštičiek vyžaduje, aby nielen podstúpili opakované cykly zahrievania a chladenia, ale aby odolali aj korózii procesných plynov po dlhší čas. Vertikálny kremeň Semicorexoblátkačlny vykazujú výnimočnú rozmerovú stabilitu v náročných prevádzkových podmienkach konštantného tepelného cyklovania z dôvodu ich prirodzenej tepelnej stability. Tieto vynikajúce tepelné vlastnosti výrazne zabraňujú deformácii plátku a poškodeniu spôsobenému presnou degradáciou alebo štrukturálnou deformáciou vertikálnych kremenných plátkov. A čo viac, vďaka svojej vysokej chemickej inertnosti môžu byť vertikálne kremenné člny odolné voči reakcii s korozívnymi plynmi, ako je kyslík, vodná para, chlorovodík a amoniak. Táto vlastnosť výrazne znižuje možnosť, že chemická korózia ohrozí štrukturálnu integritu vertikálnych kremenných plátkov.

Okrem výkonnostných výhod uvedených vyššie preukazujú vertikálne kremenné člny Semicorex aj vynikajúcu konkurencieschopnosť v rozmerovej presnosti a konštrukčnom dizajne. Každá z nich je vyrobená technikou presného obrábania. Toto presné riadenie rozmerov zaisťuje presné umiestnenie plátku, minimalizuje škrabance a praskliny spôsobené posunutím alebo kolíziami počas nakladania, spracovania a vykladania.