Brúska oblátk

SemiCorex Wafer Edge Grinding Chuck je vyhradená keramická časť vyrobená pre proces brúsenia oblátkov počas výroby polovodičov. Keramika je vyrobená z vysokej čistoty, bieleho hlinitého (al₂o₃) s mechanickou pevnosťou, chemickou rezistenciou a rozmerovou stabilitou na podporu procesu mletia oblátok. Keďže nové technológie vyžadujú väčšie priemery oblátky a jemnejšie štruktúry v zariadeniach, brúsenie okrajov do oblátky teraz zohráva významnú úlohu pri prevencii štiepania, mikrokrakovania a výnosu. Keramická mletie hlinitého Chuck poskytuje stabilnú základnú hodnotu, na ktorej spĺňa tieto prísne výrobné požiadavky.

Alumina keramikasa používa ako materiál konštrukcie z dôvodu neuveriteľných fyzikálnych, chemických a tepelných vlastností. Biely alumina má vynikajúcu tvrdosť iba s diamantom, ktorý sa radí vyššie na stupnici tvrdosti Mohs, ktorá umožňuje brúseniu, aby vydržala opotrebenie a oderie do predvídateľnej budúcnosti s opakovaným použitím. Vzhľadom na značnú mechanickú pevnosť hlinitého môže byť oblátka bezpečne uchopená a držaná, zatiaľ čo tuhosť hlinitého nepovoľuje skreslenie alebo deformáciu, keď sa na túto časť aplikuje zaťaženie. Vzhľadom na to je Hliník vynikajúcou voľbou na výrobu príslušenstiev a podpory, kde sa vyžaduje presnosť a trvanlivosť.

Tepelná stabilita je tiež výraznou črtou hlinitého keramiky. S bodom topenia väčšieho ako 2000 ° C a stabilitou tepelného nárazu môže skľučanie bežať v podmienkach, kde môže dôjsť k zahrievaniu alebo zmene teploty, je konzistentné, kde je rozmerová stabilita kritická, hoci tvar brúsenia môže preniesť trochu zmeny v rozmere. Upínacia sila zostáva silná pre neustále udržiavanie zarovnania pri brúsení okrajov. Nízka tepelná vodivosť hlinitého by nemala umožniť lokalizované zahrievanie na zahriatie oblátky dostatočne zvýšeného pre akýkoľvek kompromis integrity doštičiek pri spracovaní jemných polovodičov substrátov.

Z chemického hľadiska má hlinitová keramika malú reakciu na kyseliny, alkalis a plazmové prostredie spracovania polovodičov. Na rozdiel od metalických skľučov, ktoré môžu korodovať alebo polymérne svietidlá, ktoré sa môžu naďalej degradovať bez explicitného monitorovania, je hlinitou keramikou imunná voči týmto každodenným servisným cyklom pri spracovaní polovodičov. Táto inertnosť zabezpečí nulovú kontamináciu povrchu oblátky a zachová čistotu procesu a zároveň obmedzí stratu výnosu.

V dnešnej polovodičovej výrobnej krajine je proces brúsenia okrajov viacstranný: pripravuje oblátku na následné spracovanie a tiež poskytuje bezpečnú dopravu, manipuláciu a integráciu do najpokročilejších litografických a leptacích nástrojov. V tomto je brúsenie oblátkového okraja Chuck dôležitým kúskom skladačky bezpečného pripevňovania oblátky, presného držania a priamo prispieva k spoľahlivosti a výkonu produktu. S investíciou do hlinitého keramiky sa čas ušetrí tým, že má rozšírenú dlhovekosť takéhoto aktívu na obmedzenie prestoje, zníženie nákladov na diely a maximalizáciu efektívnosti zariadenia (OEE).

Oblátkový okraj brúsenie skľučovadla vyrobené zalumina keramikaPredstavuje všetky výhody sofistikovanej materiálovej vedy a presného inžinierstva. Ilustruje vlastnosti tvrdosti, odolnosti proti opotrebeniu, tepelnej stability a chemickej inerte potrebnej pre proces výroby polovodičov. Robustný výkon môže viesť k spoľahlivej kvalite okrajov oblátkov, dobrým výnosom a predĺženej životnosti zariadení. Pre výrobcov polovodičov, ktorí sa zaviazali k dokonalej presnosti a účinnosti, je riešením grinding hliníka hlinitého hliníka.