1x2" grafitové susceptory

Pri výrobe polovodičových doštičiek sa vyžaduje, aby sa epitaxná vrstva pestovala na doštičkovom substráte na následnú výrobu polovodičových zariadení. Keďže proces epitaxného rastu je vysoko citlivý na kolísanie teploty a kontamináciu, výber je spoľahlivýdoštičkové susceptorysú kriticky dôležité. Presnosť obrábania, schopnosť tepelného manažmentu a odolnosť voči kontaminácii sú nevyhnutnými podpornými časťami v epitaxiálnom procese plátku, sú kľúčovými faktormi pri dosahovaní vysokokvalitného epitaxiálneho rastu plátkov.

Funkcie Semicorex 1x2" grafitových plátkových susceptorov

Semicorex 1x2" grafitové doštičkové susceptory, vyrobené z ultrajemnozrnného, ​​vysoko čistého grafitu ako matrice s hustým povlakom z karbidu kremíka, poskytujú nasledujúce funkcie:

1.Secure and Stale holding

Semicorex 1x2"grafitDoštičkové susceptory sa vyznačujú presným obrábaním a spracovaním, ktoré poskytujú výnimočnú rovinnosť povrchu a rozmerovú presnosť. To zaisťuje, že sú pevne zaistené vo vhodnej polohe a poskytuje stabilnú, plochú podpornú platformu pre epitaxiálny rast plátku.

2. Presné rovnomerné rozloženie tepla

Vďaka vynikajúcej tepelnej vodivosti grafitových a SiC materiálov poskytujú Semicorex 1x2" grafitové doštičkové susceptory rýchle a rovnomerné rozloženie tepla cez polovodičovú látku. Minimalizáciou teplotných gradientov môžu Semicorex 1x2" grafitové doštičkové susceptory účinne predchádzať problémom, ako je nerovnomerná kvalita epitaxie a koncentrácia napätia.

Výhody povlaku z karbidu kremíka Semicorex

1.Vynikajúca odolnosť proti korózii

Grafitové doštičkové susceptory Semicorex 1x2" pokryté hustým povlakom z karbidu kremíka sú účinne odolné voči väčšine chemikálií, vďaka čomu sú vhodné pre aplikácie vo vysoko korozívnych prevádzkových podmienkach, kde je materiál často vystavený korozívnym plynom a chemickým výparom.

2. Nízke vylučovanie častíc

Semicorexpovlak z karbidu kremíkamá vysokú pevnosť spojenia s grafitovou matricou, čo môže výrazne zabrániť riziku kontaminácie substrátu v dôsledku odlepovania povlaku v dôsledku korózie a vypadávania častíc spôsobených prostredím s vysokou koróziou.

3. Spoľahlivá životnosť

Hoci grafitové matrice vykazujú vynikajúcu tepelnú stabilitu a mechanickú pevnosť, sú náchylné na koróziu a pulverizáciu v prevádzkových podmienkach epitaxného procesu, čo výrazne skracuje životnosť nepotiahnutých grafitových matríc. Úplným zapuzdrením grafitových matríc hustými SiC povlakmi dosahujú naše 1×2" grafitové doštičkové susceptory vynikajúcu a spoľahlivú odolnosť.

Materiálové údaje Semicorex SiC Coating