Grafitový susceptor potiahnutý SiC pre MOCVD

Semicorex je veľký výrobca a dodávateľ grafitových susceptorov potiahnutých karbidom kremíka v Číne. Zameriavame sa na polovodičový priemysel, ako sú vrstvy karbidu kremíka a epitaxné polovodiče. Náš grafitový susceptor potiahnutý SiC pre MOCVD má dobrú cenovú výhodu a pokrýva mnohé z európskych a amerických trhov. Tešíme sa, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom.

Odoslať dopyt

Popis produktu

Semicorex SiC potiahnutý grafitový susceptor pre MOCVD je vysoko čistý grafitový nosič potiahnutý karbidom kremíka, ktorý sa v procese používa na rast epixiálnej vrstvy na doštičkovom čipe. Je to stredová doska v MOCVD, tvar ozubeného kolesa alebo krúžku. Grafitový susceptor potiahnutý SiC pre MOCVD má vysokú tepelnú a koróznu odolnosť, ktorá má veľkú stabilitu v extrémnom prostredí.
V Semicorex sme sa zaviazali poskytovať našim zákazníkom vysokokvalitné produkty a služby. Používame len tie najlepšie materiály a naše produkty sú navrhnuté tak, aby spĺňali najvyššie štandardy kvality a výkonu. Náš grafitový susceptor potiahnutý SiC pre MOCVD nie je výnimkou. Kontaktujte nás ešte dnes, aby ste sa dozvedeli viac o tom, ako vám môžeme pomôcť s vašimi potrebami spracovania polovodičových doštičiek.

Parametre grafitového susceptora potiahnutého SiC pre MOCVD

Hlavné špecifikácie povlaku CVD-SIC
Vlastnosti SiC-CVD
Kryštálová štruktúra	FCC β fáza
Hustota	g/cm³	3.21
Tvrdosť	Tvrdosť podľa Vickersa	2500
Veľkosť zrna	μm	2~10
Chemická čistota	%	99.99995
Tepelná kapacita	J kg-1 K-1	640
Teplota sublimácie	℃	2700
Felexurálna sila	MPa (RT 4-bodové)	415
Youngov modul	Gpa (4pt ohyb, 1300 ℃)	430
Tepelná expanzia (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Tepelná vodivosť	(W/mK)	300

Vlastnosti grafitového susceptora potiahnutého SiC pre MOCVD

- Zabráňte odlupovaniu a zabezpečte povlak na celom povrchu
Odolnosť proti oxidácii pri vysokej teplote: Stabilná pri vysokých teplotách až do 1600 °C
Vysoká čistota: vyrobené chemickým nanášaním pár CVD za podmienok chlorácie pri vysokej teplote.
Odolnosť proti korózii: vysoká tvrdosť, hustý povrch a jemné častice.
Odolnosť proti korózii: kyselinám, zásadám, soliam a organickým činidlám.
- Dosiahnite najlepší vzor laminárneho prúdenia plynu
- Zaručiť rovnomernosť tepelného profilu
- Zabráňte šíreniu akejkoľvek kontaminácie alebo nečistôt