Alumina keramický konečný efektor

Keramický efektor keramiky Semicorex Alumina je nevyhnutným nástrojom v automatizovaných systémoch prenosu oblátok, ktorý ponúka neprekonateľnú mechanickú pevnosť, tepelnú stabilitu a chemický odpor. Vyrábané pomocou vysokej bezpečnostiHliník (al₂o₃) keramika, tento konečný efektor je navrhnutý tak, aby vyhovoval prísnym požiadavkám prostredia spracovania oblátok, kde sú prvoradé presnosť, čistota a trvanlivosť.

Ramenné ramená robotov polovodičov sú jednou z dôležitých častí polovodičového zariadenia. Zvyčajne sa skladajú z ovládačov, ovládačov, zbraní a konečných efektorov. Vyznačujú sa vysokou čistotou, vysokou stabilitou, vysokou presnosťou, vysokou účinnosťou a vysokou spoľahlivosťou. Polovodičové roboty sa používajú hlavne v procese výroby polovodičov na prepravu, prepravu a umiestnenie polovodičových doštičiek.

Keramická štruktúra, ktorá má obsah alumíny, zvyčajne viac ako 99,5%, poskytne vynikajúcu tvrdosť a opotrebenie pre opakované pohyby v prostrediach s vysokou presnosťou bez času bez degradácie. Vysoká tepelná vodivosť a nízka tepelná expanzia oxidu hlinitého umožňujú rozmerovú stabilitu v prostrediach so zvýšenou teplotou, čo je nevyhnutnosť vo väčšine operácií čistých miestností v polovodičoch, napríklad v leptaní, depozitách, inšpekcii alebo čistiacich nástrojoch.

Tenalumina keramikaKonečný efektor má pozoruhodný charakteristický povrchový povrch, ktorý je hladký a má nízku pórovitosť, vďaka čomu sa generuje blízko nulových častíc a minimalizácia alebo nulový účinok na kontaminanty počas manipulácie s oblátkami. Okrem toho je hliník chemicky inertný. To znamená, že nebude reagovať so žiadnym z procesných plynov a s akýmikoľvek procesnými kvapalinami, s ktorými je oblátka v kontakte. Chráni to oblátky a akúkoľvek kontamináciu pre seba a vybavenie pred všetkými, čo môže spôsobiť koróziu.

Všeobecne sa používajú ako konečné efektory alebo ako upínací mechanizmus, pre robotické ramená alebo prenosové moduly vo výrobných zariadeniach a vybavení doštičiek, ako je leptaný alebo vkladový nástroj, inšpekcia alebo čistiaci nástroj s presnými slotmi, drážkami alebo vákuovými kanálmi, ktoré zachytávajú skutočnú veľkosť plesnia, či už je to 100 mm, 200 mm, alebo 300 mm a prenosu prenosu a zachytenie výmeny. Konečné efektory zvyčajne spracúvajú prenos oblátok, ktoré prenáša rýchlosť pri 25 cm/sekundu.

Možnosti prispôsobenia existujú pozdĺž riadkov navrhnutých pre konkrétne rozhrania zariadenia alebo veľkosti oblátok. Štrukturálna rigidita hliníka umožňuje tenké a ľahké profily, ktoré minimalizujú celkovú hmotnosť systému manipulácie a vedú k rýchlejším časom odozvy. Niektoré konfigurácie môžu tiež pridať ant-statické alebo izolačné komponenty, aby poskytli dodatočnú ochranu citlivým elektronickým substrátom.

Celkovo poskytuje hlinitý keramický efektor efektívne riešenie, ktoré podporuje zlepšený výťažok a zníženú kontamináciu, kde operatívna spoľahlivosť je kľúčovými prvkami pre spracovateľskú líniu doštičiek. Vďaka svojim charakteristikám trvanlivosti a fyzickej výkonnosti sa efektívna a nákladovo efektívna efektívna hlinitová keramická koncová efektor rozlišuje ako populárna voľba medzi výrobcami a FAB na polovodičové zariadenia, ktoré vyžadujú prísne výrobné normy v ultračínskom prostredí.