Skľučovadlá Semicorex s kruhovou drážkou z oxidu hlinitého, špeciálne navrhnuté pre vysoko presné systémy upevnenia a adsorpcie plátkov, sú vysokovýkonné vákuové upínacie komponenty používané na výrobu špičkových polovodičových plátkov. Výber Semicorex, výber optimálnych riešení upínania plátkov.
Skľučovadlá Semicorex s prstencovými drážkami z oxidu hlinitého majú povrchovú štruktúru pozostávajúcu zo série viacerých sústredných prstencových drážok. Po spojení s vákuovou pumpou tvoria tieto drážky prstencové podtlakové zóny na stabilné uchytenie tenkých plátkov a obrobkov s presným polohovaním. Skľučovadlá Semicorex s prstencovou drážkou z oxidu hlinitého fungujú dobre v pracovných podmienkach vyžadujúcich prísne riadenie rovinnosti a rovnomerne rozloženú adsorpčnú silu, ktoré sa široko používajú pri držaní plátkov, umiestnení expozície, plazmovom leptaní, ako aj pri kontrole a prenose plátkov.
Keramika z oxidu hlinitého vyrobená zahusťovacím spekaním vykazuje pozoruhodný tepelný výkon. Vďaka tejto materiálovej vlastnosti skľučovadlá Semicorex s prstencovou drážkou z aluminy fungujú stabilne v extrémne vysokých teplotách bez deformácie štruktúry a zníženia výkonu pri dlhodobom používaní.
Semicorex s prstencovou drážkoualuminové skľučovadlámajú na svojom adsorpčnom povrchu viaceré prstencové drážky, v ktorých sa vytvárajú stabilné prstencové vákuové zóny. Táto konfigurácia umožňuje konzistentnú adsorpčnú silu naprieč hlavnými kontaktnými plochami plátku, čím sa výrazne znižuje čiastočná deformácia plátku a deformácia.
Pýšiace sa vynikajúcou tuhosťou materiálu a štrukturálnou stabilitou, skľučovadlá Semicorex s prstencovou drážkou z oxidu hlinitého sú schopné udržiavať vynikajúcu rovinnosť a konzistentnú presnosť polohovania počas opakovaných operácií vákuového upínania po dlhú dobu.
Kvôlioxid hlinitýVďaka spoľahlivej chemickej stabilite majú skľučovadlá Semicorex s kruhovou drážkou aluminu vynikajúcu odolnosť voči väčšine kyslých a zásaditých látok, ako aj rôznym korozívnym procesným plynom a sú vysoko prispôsobené náročným korozívnym prevádzkovým podmienkam.
Vďaka prísnej kontrole čistoty materiálu a úprave zhutňovania, prstencové skľučovadlá z oxidu hlinitého s kruhovou drážkou Semicorex pri prevádzke len zriedka uvoľňujú častice alebo uvoľňujú nečistoty, čo plne vyhovuje prísnym štandardom nízkej kontaminácie v čistých priestoroch pre polovodiče.
Ako popredná spoločnosť v Číne má Semicorex podporu integrovaných výrobných liniek a skúseného technického tímu. Našim zákazníkom vieme ponúknuť technickú podporu a optimalizované procesné riešenia na mieru a poskytnúť im neštandardnú zákazkovú výrobu našich prstencovo drážkovaných aluminových skľučovadiel v čistote materiálu, tvare skľučovadiel, rozmeroch, rovinnosti, toleranciách a iných požiadavkách.