Keramické zaostrovacie krúžky pre polovodiče

Semicorex keramikazaostrovací krúžoks pre polovodiče sú ideálne riešenia prispôsobené pre drsné prevádzkové podmienky plazmového leptania. Počas sofistikovaného procesu leptania polovodičov je kľúčové presne kontrolovať distribúciu plazmy, čo môže zabezpečiť stabilitu leptacej komory a konzistentnú rovnomernosť leptania polovodičov. Ako nevyhnutné komponenty používané v modernom leptacom zariadení sú zaostrovacie krúžky zvyčajne umiestnené okolo polovodičových doštičiek a prichádzajú s nimi do priameho kontaktu. Výkon zaostrovacích krúžkov má priamy vplyv na opakovateľnosť procesu, výťažnosť produktu a dobu prevádzkyschopnosti zariadenia.

Výhody keramických zaostrovacích krúžkov Semicorex pre polovodiče

1. Ultra vysoká čistota materiálu

Čistota našejCVD SiCmateriál presahuje 99,9995 %. To môže účinne zabrániť kontaminácii leptacej komory a polovodičových doštičiek spôsobenej nedostatočnou čistotou materiálu.

2. Výnimočná odolnosť proti korózii

Semicorex keramické ohniskové krúžky pre polovodiče sú vyrobené z CVD SiC, vyznačujúce sa vynikajúcou odolnosťou voči oxidácii, erózii a chemickej korózii, sú obzvlášť účinné proti procesným plynom ako HF a HCI, ako aj plazmovým plynom.

3.Vynikajúci odporový výkon

Rovnomernosť odporu keramických zaostrovacích krúžkov Semicorex pre polovodiče je menšia ako 5%.

Rozsahy odporu: Nízke rozlíšenie. (<0,02 Ω·cm), stredná rez. (0,2–25 Ω·cm), vysoké rozlíšenie (>100 Ω·cm).

Funkcie keramických zaostrovacích krúžkov Semicorex pre polovodiče

1. Kontrolujte a zjednocujte okrajové elektrické pole a distribúciu plazmy

Keramické zaostrovacie krúžky Semicorex pre polovodiče môžu riadiť distribúciu elektrického poľa vo vnútri leptacej komory a dosiahnuť rovnomernejšie plazmové puzdro okolo polovodičových doštičiek, čo umožňuje, aby plazma narážala na povrch doštičky vertikálnym a rovnomerným spôsobom. Týmto spôsobom je možné výrazne znížiť efekt leptania a výrazne zlepšiť presnosť leptania.

2.Chráňte elektrostatické skľučovadlo

Bez ochrany zaostrovacích krúžkov v procese leptania bude elektrostatické skľučovadlo vystavené bombardovaniu a erózii vysokoenergetickej plazmy. Elektrostatické skľučovadlá sú vyrobené z vysoko nákladných materiálov s extrémne vysokými nákladmi na výmenu. Použitie zaostrovacích krúžkov môže účinne znížiť koróziu plazmy na elektrostatickom skľučovadle a minimalizovať náklady na údržbu a výmenu elektrostatického skľučovadla.