Deep-UV LED epitaxný susceptor

Semicorex je veľký výrobca a dodávateľ grafitových susceptorov potiahnutých karbidom kremíka v Číne. Už mnoho rokov sme výrobcom a dodávateľom Deep-UV LED epitaxného susceptora. Naše produkty majú dobrú cenovú výhodu a pokrývajú väčšinu európskych a amerických trhov. Tešíme sa, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom v Číne.

Odoslať dopyt

Popis produktu

Deep-UV LED epitaxné susceptory sú nevyhnutné na výrobu LED. Doska potiahnutá karbidom kremíka (SiC) Semicorex zefektívňuje výrobu vysoko kvalitných hlbokých UV LED doštičiek. SiC Coating je hustý povlak z karbidu kremíka (SiC) odolný voči opotrebovaniu. Má vysokú odolnosť proti korózii a teplu, ako aj vynikajúcu tepelnú vodivosť. SiC nanášame v tenkých vrstvách na grafit pomocou procesu chemického vylučovania z plynnej fázy (CVD).
Bez ohľadu na to, aké môžu byť vaše špecifické požiadavky, identifikujeme najlepšie riešenie pre MOCVD epitaxiu, ako aj pre polovodičový a LED priemysel.
Náš epitaxný susceptor Deep-UV LED je navrhnutý tak, aby dosiahol najlepší laminárny vzor prúdenia plynu a zabezpečil rovnomernosť tepelného profilu. To pomáha predchádzať akejkoľvek kontaminácii alebo difúzii nečistôt a zabezpečuje vysokokvalitný epitaxiálny rast na doštičkovom čipe.
Kontaktujte nás ešte dnes a dozviete sa viac o našom epitaxnom susceptore Deep-UV LED.

Parametre Deep-UV LED epitaxného susceptora

Hlavné špecifikácie povlaku CVD-SIC
Vlastnosti SiC-CVD
Kryštálová štruktúra	FCC β fáza
Hustota	g/cm³	3.21
Tvrdosť	Tvrdosť podľa Vickersa	2500
Veľkosť zrna	μm	2~10
Chemická čistota	%	99.99995
Tepelná kapacita	J kg-1 K-1	640
Teplota sublimácie	℃	2700
Felexurálna sila	MPa (RT 4-bodové)	415
Youngov modul	Gpa (4pt ohyb, 1300 ℃)	430
Tepelná expanzia (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Tepelná vodivosť	(W/mK)	300

Vlastnosti Deep-UV LED epitaxného susceptora

- Nižšia odchýlka vlnovej dĺžky a vyššia výťažnosť čipu
- Grafitový substrát aj vrstva karbidu kremíka majú vysokú tepelnú vodivosť a vynikajúce vlastnosti rozvádzania tepla.
- Prísnejšie rozmerové tolerancie vedú k vyššej výťažnosti produktu a nižším nákladom
- Zabráňte odlupovaniu a zabezpečte povlak na celom povrchu
Odolnosť proti oxidácii pri vysokej teplote: Stabilná pri vysokých teplotách až do 1600 °C
Vysoká čistota: vyrobené chemickým nanášaním pár CVD za podmienok chlorácie pri vysokej teplote.
Odolnosť proti korózii: vysoká tvrdosť, hustý povrch a jemné častice.
Odolnosť proti korózii: kyselinám, zásadám, soliam a organickým činidlám.