MOCVD Planet Susceptor pre polovodič

Semicorex je dôveryhodné meno v polovodičovom priemysle a poskytuje vysoko kvalitný MOCVD Planet Susceptor pre Semiconductor. Náš produkt je navrhnutý tak, aby vyhovoval špecifickým potrebám výrobcov polovodičov, ktorí hľadajú nosič, ktorý dokáže poskytnúť vynikajúci výkon, stabilitu a odolnosť. Kontaktujte nás ešte dnes, aby ste sa dozvedeli viac o našom produkte a o tom, ako vám môžeme pomôcť s vašimi potrebami výroby polovodičov.

Odoslať dopyt

Popis produktu

Náš MOCVD Planet Susceptor for Semiconductor sa vyznačuje vysokou odolnosťou proti oxidácii pri vysokých teplotách, čo zaisťuje jeho stabilitu pri vysokých teplotách až do 1600 °C. Je tiež vysoko čistý, vyrobený chemickou depozíciou pár CVD za podmienok vysokoteplotnej chlorácie, čím sa zabezpečuje rovnomernosť a konzistencia produktu, rovnomerný tepelný profil a laminárny vzor prúdenia plynu.
Kontaktujte nás ešte dnes a dozviete sa viac o našom MOCVD Planet Susceptor for Semiconductor.

Parametre MOCVD Planet Susceptor pre polovodič

Hlavné špecifikácie povlaku CVD-SIC
Vlastnosti SiC-CVD
Kryštálová štruktúra	FCC β fáza
Hustota	g/cm³	3.21
Tvrdosť	Tvrdosť podľa Vickersa	2500
Veľkosť zrna	μm	2~10
Chemická čistota	%	99.99995
Tepelná kapacita	J kg-1 K-1	640
Teplota sublimácie	℃	2700
Felexurálna sila	MPa (RT 4-bodové)	415
Youngov modul	Gpa (4pt ohyb, 1300 ℃)	430
Tepelná expanzia (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Tepelná vodivosť	(W/mK)	300

Vlastnosti grafitového susceptora potiahnutého SiC pre MOCVD

- Zabráňte odlupovaniu a zabezpečte povlak na celom povrchu
Odolnosť proti oxidácii pri vysokej teplote: Stabilná pri vysokých teplotách až do 1600 °C
Vysoká čistota: vyrobená chemickou depozíciou pár CVD za podmienok chlorácie pri vysokej teplote.
Odolnosť proti korózii: vysoká tvrdosť, hustý povrch a jemné častice.
Odolnosť proti korózii: kyselinám, zásadám, soliam a organickým činidlám.
- Dosiahnite najlepší vzor laminárneho prúdenia plynu
- Zaručiť rovnomernosť tepelného profilu
- Zabráňte šíreniu akejkoľvek kontaminácie alebo nečistôt