Povlak v tepelnom poli polovodičových kremíkových monokryštálov

Potiahnuté časti v horúcom poli polovodičového kremíkového monokryštálu sú všeobecne potiahnuté metódou CVD, vrátane pyrolytického uhlíkového povlaku,Povlak z karbidu kremíkaaPovlak z karbidu tantalu, každý s inými vlastnosťami.

Spoločné body: substrát je vysoko čistý izostatický grafit, vo všeobecnosti menej ako 5 ppm popola; povlaky sa používajú CVD metóda; povlak je v podstate 100% uhlík alebo karbid kremíka; po potiahnutí je povrch relatívne hustý, plyn, najmä kremík z pece alebo plynný oxid kremíka, môže byť v podstate blokovaný; jeho vlastná prchavosť prachu je tiež veľmi malá.

Rozdiely: štandardná hrúbka povlaku, pyrolytický uhlíkový povlak je vo všeobecnosti asi 40 um; Povlak z karbidu kremíka sa vo všeobecnosti vykonáva asi 100 um, ale podľa rôznych potrieb zákazníkov sa môže vykonať 30 um ~ 150 um, vrátane jedného povlaku a dvoch povlakov; povlak karbidu tantalu je všeobecne 35±15um.

Pyrolytický uhlíkový povlak, jeho hustota je ekvivalentná hustote neporézneho grafitu, čo je asi 2,2. Má nízky odpor a vysokú tepelnú vodivosť v rovnobežnom smere povrchu, takže dokáže udržať stálosť povrchovej teploty a má tiež nízky koeficient tepelnej rozťažnosti a vysoký modul pružnosti. V kolmom smere povrchu je koeficient tepelnej rozťažnosti väčší a tepelná vodivosť nižšia.

V prípade produktov potiahnutých karbidom kremíka je modul pružnosti povlaku veľmi vysoký, desaťkrát vyšší ako modul pružnosti vnútorného grafitového substrátu, takže aby sa predišlo prasknutiu produktu, je potrebné s ním zaobchádzať jemne.

Pyrolytický uhlíkový povlak a povlak z karbidu kremíka so všetkými nečistotami s obsahom menej ako 5 ppm, kde obsah hlavného kovového prvku je nižší ako 0,1 alebo 0,01 ppm, tým ťažšie sa vysporiada s prvkom bóru 0,01 alebo 0,15 ppm.

Semicorex ponúka vysokokvalitný produkt CVD povlaku pre polovodiče s prispôsobeným servisom. Ak máte akékoľvek otázky alebo potrebujete ďalšie podrobnosti, neváhajte nás kontaktovať.

Kontaktné telefónne číslo +86-13567891907

E-mail: sales@semicorex.com