Štruktúra elektrostatického skľučovadla (ESC)

AnElektrostatické skľučovadlo (ESC)je zariadenie používané na držanie polovodičových doštičiek na mieste počas procesov, ako je leptanie, nanášanie alebo leštenie. Funguje tak, že generuje elektrostatické pole na pritiahnutie a bezpečné držanie plátku na povrchu skľučovadla, čím poskytuje stabilitu a presné zarovnanie počas manipulácie s plátkom. ESC sa široko používajú pri výrobe polovodičov na zlepšenie presnosti procesu a efektívnosti manipulácie s plátkami.

Skutočný obraz konvenčnéhoelektrostatické skľučovadlo (ESC)je znázornené na obrázku. Primárny rozdiel medzi modelmi spočíva v materiáli izolačnej vrstvy na povrchu elektrostatického skľučovadla. Na obrázku tmavá farba predstavuje nitrid hliníka, zatiaľ čo biela farba predstavuje oxid hlinitý. Štruktúraelektrostatické skľučovadlopozostáva z niekoľkých častí:

1. **Izolačná vrstva**: Táto vrstva je v kontakte s plátkom, zvyčajne je vyrobená z nitridu hliníka alebo keramiky z oxidu hlinitého kvôli ich vynikajúcej mechanickej pevnosti, odolnosti voči vysokej teplote a dobrej tepelnej vodivosti.

2. **Vyhadzovací kolík a otvor pre plyn**: Vyhadzovací kolík je určený na prenášanie plátku. Keď plátok vstúpi do leptacej komory, vyhadzovací kolík sa zdvihne, aby ho podporil, a potom sa zníži, aby sa plátok umiestnil na povrch elektrostatického skľučovadla. Vyhadzovací kolík má zvyčajne dutú štruktúru, ktorá umožňuje zavádzanie héliového plynu, ktorý pomáha ochladzovať plátok.

3. **Back He Flow Channel**: Tento komponent zlepšuje odvod tepla a uľahčuje adsorpciu plátku.

4. **Elektrostatická elektróda**: Táto elektróda generuje elektrické pole, ktoré vytvára elektrostatickú silu potrebnú na udržanie plátku na mieste. Elektróda je typicky rovinná a je buď zapustená v izolačnom materiáli alebo je na ňom uložená. Bežne používané vodivé materiály zahŕňajú hliník, meď a volfrám.

5. **Obehová chladiaca voda a ohrievacia elektróda**: Tieto prvky sú primárne zodpovedné za celkovú reguláciu teploty elektrostatického skľučovadla. Vyhrievacia elektróda a cirkulujúca chladiaca voda pracujú v tandeme, aby udržiavali stabilnú teplotu plátku. Spoliehanie sa výlučne na cirkulujúcu chladiacu vodu môže viesť k neschopnosti riadiť teplo generované počas procesu leptania, čo môže ohroziť stabilitu procesu.  

Semicorex ponúka vysokú kvalituElektrostatické skľučovadlo (ESC). Ak máte akékoľvek otázky alebo potrebujete ďalšie podrobnosti, neváhajte nás kontaktovať.

Kontaktné telefónne číslo +86-13567891907

E-mail: sales@semicorex.com