Keramické membrány kremíka majú charakteristiky vysokej chemickej stability, dobrého odporu tepelného otrasu, silnej hydrofilnosti, veľkého membránového toku, vysokej mechanickej pevnosti, koncentrovanej distribúcie veľkosti pórov a dobrého gradientu štruktúry pórov.
Čítaj viacV súčasnosti dominuje karbid kremíka v tretej generácii polovodičov. V štruktúre nákladov na zariadeniach karbidu kremíka predstavuje substráty 47%a epitaxia prispieva 23%. Tieto dve zložky spoločne predstavujú asi 70% z celkových výrobných nákladov, čo ich robí rozhodujúcimi v výrobnom reťazci zari......
Čítaj viac