Presné keramické diely sú kľúčové komponenty základných zariadení v kľúčových procesoch výroby polovodičov, ako je fotolitografia, leptanie, ukladanie tenkého filmu, implantácia iónov, CMP atď., Ako sú ložiská, vodiace koľajnice, vložky, elektrostatické skľučenia, mechanické manipulačné ramená atď.
Čítaj viac