Presné keramické diely sú kľúčové komponenty základných zariadení v kľúčových procesoch výroby polovodičov, ako je fotolitografia, leptanie, ukladanie tenkého filmu, implantácia iónov, CMP atď., Ako sú ložiská, vodiace koľajnice, vložky, elektrostatické skľučenia, mechanické manipulačné ramená atď.
Čítaj viacV procese front-end (FEOL) výroby polovodičov musí byť oblátka podrobená rôznym procesným ošetreniam, najmä oblátky sa musí zahriať na určitú teplotu a existujú prísne požiadavky, pretože jednotnosť teploty má veľmi dôležitý vplyv na výťažok produktu; Zároveň musí polovodičové vybavenie pracovať v p......
Čítaj viac