Produkty

Ploché plechové membrány Semicorex SiC vyrobené z vysoko čistého prášku SiC vysokoteplotným spekaním sú prémiové filtračné prvky predstavujúce špičkové anorganické keramické membrány. Ploché membrány Semicorex SiC s vysokým tokom, odolnosťou proti korózii, jednoduchým čistením, účinnou filtráciou a dlhou životnosťou sú ideálne pre aplikácie MBR.

Trojdielne grafitové tégliky Semicorex sú vysokovýkonné delené grafitové nádoby špeciálne navrhnuté pre procesy rastu monokryštálov kremíka. Trojdielny grafitový téglik Semicorex, ideálny pre špičkové tepelné spracovanie polovodičov, môže spoľahlivo podporovať kremenný téglik a jeho vnútorné materiály, aby sa dosiahol kontrolovaný rast monokryštálových štruktúr.

Rúry pece z karbidu kremíka Semicorex sú vysokovýkonné komponenty SiC špeciálne navrhnuté pre vysokoteplotné front-end procesy v pokročilom priemysle polovodičov. Vďaka svojmu výnimočnému výkonu dokážu pece Semicorex z karbidu kremíka vydržať drsné prevádzkové prostredie s extrémnymi teplotami, korozívnymi plynmi a drastickými teplotnými výkyvmi.

Člny Semicorex CVD s povlakom SiC sú vysoko presné keramické nosné nástroje vyrobené z veľmi čistého karbidu kremíka, vyznačujúce sa vysokou spoľahlivosťou, vynikajúcou čistotou a predĺženou životnosťou. Slúžia ako ideálne riešenie pre tepelné spracovanie plátkov, člny Semicorex CVD potiahnuté SiC môžu dosiahnuť bezpečné a stabilné umiestnenie plátkov počas prenosu a spracovania.

Semicorex horný uzemňovací krúžok elektródy je komponent na riadenie plazmy CVD SiC s ultra vysokou čistotou, ktorý stabilizuje elektrický potenciál a podporuje rovnomernú distribúciu plazmy v pokročilých polovodičových leptacích a depozičných systémoch. Semicorex dodáva presné CVD SiC uzemňovacie krúžky a plazmové polovodičové komponenty po celom svete, pričom ponúka prispôsobené rozmery, elektrické vlastnosti a spoľahlivé globálne dodávky pre popredných výrobcov polovodičových zariadení.*

Semicorex Etching Edge Ring je vysoko čistý CVD SiC plazmový komponent, ktorý riadi distribúciu plazmy okolo okraja plátku, zlepšuje rovnomernosť leptania, presnosť procesu a celkový výkon výroby polovodičov. Semicorex poskytuje výrobcom polovodičov na celom svete pokročilé CVD SiC zaostrovacie krúžky, uzemňovacie krúžky, sprchové hlavice a prispôsobené komponenty riadenia plazmy, podporované precíznym inžinierstvom a spoľahlivými globálnymi dodávkami.*