Odolné zaostrovacie krúžky Semicorex pre spracovanie polovodičov sú navrhnuté tak, aby odolali extrémnym prostrediam plazmových leptacích komôr používaných pri spracovaní polovodičov. Naše zaostrovacie krúžky sú vyrobené z vysoko čistého grafitu potiahnutého hustým povlakom z karbidu kremíka (SiC), ktorý je odolný voči opotrebovaniu. Povlak SiC má vysokú odolnosť proti korózii a teplu, ako aj vynikajúcu tepelnú vodivosť. SiC nanášame v tenkých vrstvách na grafit pomocou procesu chemického nanášania pár (CVD), aby sme zlepšili životnosť našich zaostrovacích krúžkov.
Čítaj viacOdoslať dopyt